JPS59164236U - 蒸着用マスク - Google Patents
蒸着用マスクInfo
- Publication number
- JPS59164236U JPS59164236U JP5883283U JP5883283U JPS59164236U JP S59164236 U JPS59164236 U JP S59164236U JP 5883283 U JP5883283 U JP 5883283U JP 5883283 U JP5883283 U JP 5883283U JP S59164236 U JPS59164236 U JP S59164236U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition mask
- support
- mask
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図ａ、 ｂは従来のメタルマスクを示す平面図及
び断面図、第２図ａ、 ｂは従来のメタルマスクを用
いて、蒸着した半導体素子を示す平面図及び断面図、第
３図ａ、 ｂは、本考案の一実施例を示す、平面図及
び断面図である。− ・ １．２．３．１１．１２．１３・・・・・、・リ
ング、４゜１４・・・・・・支持体、５・・・・・・金
属蒸着膜、６・・・・・・半導体基板、７・・・・・・
支持体跡、８・・・・・・電極板。
び断面図、第２図ａ、 ｂは従来のメタルマスクを用
いて、蒸着した半導体素子を示す平面図及び断面図、第
３図ａ、 ｂは、本考案の一実施例を示す、平面図及
び断面図である。− ・ １．２．３．１１．１２．１３・・・・・、・リ
ング、４゜１４・・・・・・支持体、５・・・・・・金
属蒸着膜、６・・・・・・半導体基板、７・・・・・・
支持体跡、８・・・・・・電極板。
Claims (1)
- 蒸着によって半導体素子のシリコン基板上に金属電極を
形成する際に使用するマスクにおいて、円心円状のリン
グと、それを固定するための支持体を別々に形成゛して
、リングの片側の表面上に、支持体を溶接又はろう付け
で連結して、マスクが半導体表面と接する面と、支持体
の間の距離を、リングの厚さ分、あるいはそれ以上数れ
ることを特徴とする蒸着用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5883283U JPS59164236U (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 蒸着用マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5883283U JPS59164236U (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 蒸着用マスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59164236U true JPS59164236U (ja) | 1984-11-02 |
Family
ID=30189101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5883283U Pending JPS59164236U (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 蒸着用マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59164236U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62105839U (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-06 | ||
| JP2006307282A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Kyocera Kinseki Corp | 蒸着用マスク |
| JP2011184722A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Ricoh Co Ltd | パターン形成方法、パターン形成基板及び太陽電池素子 |
-
1983
- 1983-04-20 JP JP5883283U patent/JPS59164236U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62105839U (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-06 | ||
| JP2006307282A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Kyocera Kinseki Corp | 蒸着用マスク |
| JP2011184722A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Ricoh Co Ltd | パターン形成方法、パターン形成基板及び太陽電池素子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59164236U (ja) | 蒸着用マスク | |
| JPS63100847U (ja) | ||
| JPS6024566U (ja) | セラミツク印刷版 | |
| JPH02148569U (ja) | ||
| JPS5820536U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6037257U (ja) | 光起電力素子 | |
| JPS58120662U (ja) | チツプキヤリヤ− | |
| JPS60151151U (ja) | 感光装置 | |
| JPS59117149U (ja) | ビ−ムリ−ド型半導体装置 | |
| JPS60191044U (ja) | ジアゾ複写材料 | |
| JPS5954960U (ja) | 半導体装置の電極構造 | |
| JPS5914413U (ja) | 圧電共振素子の取付構造 | |
| JPS60117857U (ja) | 蒸着機用ウエハ−ホルダ− | |
| JPS59166407U (ja) | 電極構造 | |
| JPS6390855U (ja) | ||
| JPS58159764U (ja) | 磁電変換素子 | |
| JPS60129141U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6112260U (ja) | 半導体レ−ザアレイ装置 | |
| JPS5987140U (ja) | 半導体ペレツト | |
| JPS61171247U (ja) | ||
| JPS6054330U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS5846444U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS60190049U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS58177888U (ja) | エレクトロクロミツク表示素子文字板 | |
| JPS6082688U (ja) | 光学表示器用基板 |