JPS5836738U - 露光用マスク装置 - Google Patents

露光用マスク装置

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JPS5836738U
JPS5836738U JP1981129797U JP12979781U JPS5836738U JP S5836738 U JPS5836738 U JP S5836738U JP 1981129797 U JP1981129797 U JP 1981129797U JP 12979781 U JP12979781 U JP 12979781U JP S5836738 U JPS5836738 U JP S5836738U
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JP
Japan
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exposure mask
mask device
suction port
inert gas
outlet
Prior art date
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JP1981129797U
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English (en)
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JPS623804Y2 (ja
Inventor
志柿　邦彦
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三洋電機株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案マスク装置の正面図、第２図はその中央
断面図であって、１はマスク、２はマスクプレート、３
は噴き出しノズル、４は吸引ノズルを夫々示している。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体装置の製造に際して用いる露光用マスクを取り付
    けるマスクプレートの一端部に不活性ガス噴き出し口を
    設けると共に、該噴き出し口に対向した他端部に不活性
    ガス吸引口を設け、これ等の噴き出し口並びに吸引口と
    の間に露光用マスクを配して成る露光用マスク装置。
JP1981129797U 1981-08-31 1981-08-31 露光用マスク装置 Granted JPS5836738U (ja)

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JP1981129797U JPS5836738U (ja) 1981-08-31 1981-08-31 露光用マスク装置

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JPS5836738U true JPS5836738U (ja) 1983-03-10
JPS623804Y2 JPS623804Y2 (ja) 1987-01-28

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011237718A (ja) * 2010-05-13 2011-11-24 Toppan Printing Co Ltd 露光装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5290063B2 (ja) * 2009-06-17 2013-09-18 株式会社日立ハイテクノロジーズ プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板温度制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5368981A (en) * 1976-12-02 1978-06-19 Mitsubishi Electric Corp Vacuum contact printing apparatus

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JPS623804Y2 (ja) 1987-01-28

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