JP5290063B2 - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板温度制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
20 マスクホルダ
21 ホルダフレーム
22 支柱
30 本体ハウス
31 側壁
32 フィルタ付き吹き出し口
40,50 排気カバー
41,51 吸気口
42 フィルタ付きファン
43,53 ケーブルベア(株式会社椿本チエインの登録商標)
44,54 ベア受け
55 排気ダクト
60 恒温送風機
61 送風ダクト
Claims (8)
- マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
基板を支持するチャックと、
マスクを保持するマスクホルダと、
前記チャックを移動するステージと、
前記チャック、前記マスクホルダ及び前記ステージを収容する本体ハウスと、
前記本体ハウス内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給する空気供給手段と、
前記チャックの下方に前記チャックと伴に移動する吸気口を有し、該吸気口から前記本体ハウス内の空気を取り込んで前記本体ハウス外へ排気する排気手段とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。 - 前記ステージは、第1のステージと、該第1のステージに搭載されて該第1のステージの移動方向と直交する方向へ移動する第2のステージとを有し、
前記排気手段は、前記第1のステージに設けられ、前記第2のステージの移動範囲に渡って前記吸気口を有する第1の排気カバーと、該第1の排気カバー内の空気を排出するファンと、該ファンにより排出された空気を前記本体ハウス外へ排気する第2の排気カバーとを有することを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 前記第1の排気カバーは、内部に前記第2のステージに接続されたケーブル及び配管を収納し、
前記第2の排気カバーは、内部に前記第1のステージに接続されたケーブル及び配管を収納することを特徴とする請求項2に記載のプロキシミティ露光装置。 - マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法であって、
本体ハウス内で、
基板をチャックにより支持し、
マスクをマスクホルダにより保持し、
チャックをステージにより移動し、
本体ハウス内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給し、
チャックの下方に設けた吸気口をチャックと伴に移動しながら、
吸気口から本体ハウス内の空気を取り込んで本体ハウス外へ排気することを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法。 - ステージを、第1のステージと、第1のステージに搭載されて第1のステージの移動方向と直交する方向へ移動する第2のステージとで構成し、
第1のステージに、第2のステージの移動範囲に渡って吸気口を有する第1の排気カバーを設け、
第1の排気カバー内の空気をファンにより排出し、
排出した空気を第2の排気カバーにより本体ハウス外へ排気することを特徴とする請求項4に記載のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法。 - 第1の排気カバー内に、第2のステージに接続されたケーブル及び配管を収納し、
第2の排気カバー内に、第1のステージに接続されたケーブル及び配管を収納することを特徴とする請求項5に記載のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法を用いて基板の温度を制御しながら、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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