JP4781049B2 - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態の露光装置の概略構成を示す平面図である。図1に示す露光装置10は、露光ステーション111とアライメントステーション120とを備える。露光ステーション111とアライメントステーション120は、基準面を提供するステージ定盤112を共用する。露光装置10は、ステージ定盤112上でX、Y方向に移動可能なステージ104a、104bを備える。なお、ステージ定盤112上でX、Y方向に移動可能なより多くのステージを備えてもよい。
この実施形態は、温調用の気体の吹出し方向が第1実施形態と異なる。ここでは、主に第1実施形態との相違点について説明する。ここで言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。
この実施形態は、アライメントステーションの環境と露光ステーションの環境とを分離するエアカーテンを形成するユニットを設けた点で第1、第2実施形態と異なる。ここでは、主に第1、第2実施形態との相違点について説明する。ここで言及しない事項は、第1、第2実施形態に従いうる。
次に、図4及び図5を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図4は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
101 アライメント光学系
102a、102b 微動ステージ
103a、103b ウエハチャック
104a、104b ステージ
105 投影光学系
111 露光ステーション
111a 露光処理領域
113a、113b Xミラー
114a、114b Yミラー
120 アライメントステーション
120a 計測処理領域
140a、140b Yレーザー干渉計
141a、141b Xレーザー干渉計
150a、150b、150c、150a’、150a”、150b’、150b” 吹出口
151a、151b、151c 温度センサ
152a、152b、152c、152a’、152a”、152b’、152b” 温調器
153 温調コントローラ
154 吸込口
Claims (11)
- アライメント用の計測処理が実施されるアライメントステーションと、露光処理が実施される露光ステーションと、前記アライメントステーションと前記露光ステーションとの間で入れ替え可能な2つのステージとを有する露光装置であって、
前記2つのステージのうち前記アライメントステーション内の計測処理領域に位置するステージの位置を2方向に関して計測する第1干渉計群と、
前記2つのステージのうち前記露光ステーション内の露光処理領域に位置するステージの位置を2方向に関して計測する、前記第1干渉計群とは異なる第2干渉計群と、
前記アライメントステーション内の前記計測処理領域に向けて気体を吹出す第1吹出部と、前記露光ステーション内の前記露光処理領域に向けて気体を吹出す第2吹出部と、
前記第1吹出部から吹出された気体の温度を計測する第1温度センサと、
前記第2吹出部から吹出された気体の温度を計測する第2温度センサと、
前記第1温度センサから提供される温度計測結果にしたがって温調された気体を前記第1吹出部に提供する第1温調器と、
前記第2温度センサから提供される温度計測結果にしたがって温調された気体を前記第2吹出部に提供する第2温調器と、
を備え、前記第1吹出部及び前記第2吹出部からの気体の吹出の方向が、前記アライメントステーション及び前記露光ステーションが配列された方向とほぼ直交していることを特徴とする露光装置。 - 前記計測処理領域は、前記ステージが計測処理のために移動する領域全体を含み、前記露光処理領域は、前記ステージが露光処理のために移動する領域全体を含むことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記第1吹出部及び前記第2吹出部からの気体の吹出の方向がほぼ水平方向であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記第1吹出部及び前記第2吹出部からの気体の吹出の方向がほぼ鉛直方向であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記アライメントステーションと前記露光ステーションとの間にエアカーテンを形成するエアカーテンユニットを更に備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記アライメントステーションと前記露光ステーションとは、独立して温調されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。
- アライメント用の計測処理が実施されるアライメントステーションと、露光処理が実施される露光ステーションと、前記アライメントステーションと前記露光ステーションとの間で入れ替え可能な2つのステージとを有する露光装置であって、
前記アライメントステーション内の計測処理領域に向けて温調された気体を吹出す第1吹出部と、
前記露光ステーション内の露光処理領域に向けて温調された気体を吹出す第2吹出部と、
前記アライメントステーションと前記露光ステーションとの間にエアカーテンを形成するエアカーテンユニットとを備え、
前記エアカーテンユニットは、
前記アライメントステーションと前記露光ステーションとを仕切るエアカーテンを形成するように気体を吹出す吹出部と、
前記吹出部から吹き出された気体の温度を計測する温度センサと、
前記温度センサから提供される温度計測結果にしたがって温調された気体を前記吹出部に提供する温調器と、
を含むことを特徴とする露光装置。 - 前記エアカーテンユニットは、気体を吸出す吸出部を更に含むことを特徴とする請求項7に記載の露光装置。
- 前記第3吹出部は、ほぼ鉛直下方に気体を噴射してダウンフローを形成することを特徴とする請求項7又は8に記載の露光装置。
- アライメント用の計測処理が実施されるアライメントステーションと、露光処理が実施される露光ステーションと、前記アライメントステーションと前記露光ステーションとの間で入れ替え可能な2つのステージとを有する露光装置であって、
前記アライメントステーションと前記露光ステーションとの間にエアカーテンを形成するエアカーテンユニットを備え、
前記エアカーテンユニットは、前記エアカーテンに用いる気体の温度を計測する温度センサと、前記温度センサから提供される温度計測結果にしたがって前記気体を温調する温調器とを含むことを特徴とする露光装置。 - デバイス製造方法であって、
基板に塗布された感光剤に請求項1乃至10のいずれか1項に記載の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程と、
前記潜像パターンを現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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