JP5430508B2 - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の装置内温度制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
20 マスクホルダ
20a ホルダフレーム
20b プレート
20c 開口
21 トップフレーム
22 支柱
23 取り付けブロック
24a,24b ホルダ部
25 吸着溝
26 ガイド
27 ボールねじ
28 モータ
30 照射光学系収容部
30a ランプハウス
30b ミラーハウス
31 ランプ
32 集光鏡
33 第1平面鏡
34 レンズ群
35 シャッター
36 コリメーションレンズ群
37 第2平面鏡
40,50 排気カバー
41,51 吸気口
42 フィルタ付きファン
43,53 ケーブルガイド
44,54 ケーブルガイド受け
55 排気ダクト
55a 排気口
60 恒温送風機
61 送風ダクト
70 本体収容部
71 空気供給装置
72,73 排気装置
80 マスクホルダカバー
Claims (8)
- マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
基板を支持するチャックと、
マスクを保持するマスクホルダと、
前記チャックを前記マスクホルダの下方へ移動するステージと、
少なくとも前記チャック及び前記マスクホルダを収容する本体収容部と、
前記本体収容部内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給する空気供給装置と、
前記本体収容部の上方に配置され、前記マスクホルダに保持されたマスクへ露光光を照射する照射光学系と、
前記本体収容部の上方に前記本体収容部とつなげて設けられ、前記照射光学系を収容する照射光学系収容部と、
前記照射光学系収容部に設けられ、前記本体収容部内の空気を、前記照射光学系収容部を介して取り込み、前記照射光学系収容部外へ排気する第1の排気装置とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。 - 前記本体収容部内で前記マスクホルダを支持する複数の支柱と、
各支柱に設けられ、前記マスクホルダの下方の空気を前記本体収容部外へ排気する1以上の第2の排気装置とを備えたことを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 前記マスクホルダは、マスクの周辺部を保持する複数の独立したホルダ部と、該複数のホルダ部の一部又は全部をマスクの大きさに応じて移動する移動機構とを有し、
前記ホルダ部及び前記移動機構を覆うマスクホルダカバーと、
前記マスクホルダカバーに設けられ、前記マスクホルダカバー内の空気を前記本体収容部外へ排気する排気口とを備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプロキシミティ露光装置。 - マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の装置内温度制御方法であって、
本体収容部内で、基板をチャックにより支持し、マスクをマスクホルダにより保持し、チャックをステージによりマスクホルダの下方へ移動し、
本体収容部内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給し、
本体収容部の上方に本体収容部とつなげて設けた照射光学系収容部内の照射光学系から、マスクホルダに保持されたマスクへ露光光を照射し、
照射光学系収容部に第1の排気装置を設けて、第1の排気装置により、本体収容部内の空気を、照射光学系収容部を介して取り込み、照射光学系収容部外へ排気することを特徴とするプロキシミティ露光装置の装置内温度制御方法。 - 本体収容部内でマスクホルダを複数の支柱により支持し、
各支柱に第2の排気装置を設けて、第2の排気装置により、マスクホルダの下方の空気を本体収容部外へ排気することを特徴とする請求項4に記載のプロキシミティ露光装置の装置内温度制御方法。 - マスクホルダに複数の独立したホルダ部を設け、複数のホルダ部の一部又は全部を移動機構によりマスクの大きさに応じて移動して、複数のホルダ部によりマスクの周辺部を保持し、
マスクホルダのホルダ部及び移動機構をマスクホルダカバーで覆い、
マスクホルダカバーに排気口を設けて、マスクホルダカバー内の空気を排気口から本体収容部外へ排気することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のプロキシミティ露光装置の装置内温度制御方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の装置内温度制御方法を用いて装置内の温度を制御しながら、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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JP2010155188A JP5430508B2 (ja) | 2010-07-07 | 2010-07-07 | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の装置内温度制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
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JP6164142B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-07-19 | 東芝ライテック株式会社 | 液晶パネルの製造装置及び液晶パネルの製造方法 |
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