JP4749299B2 - 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 Z−チルト機構
10 チャック
20 マスクホルダ
30 露光光照射装置
31a,31b,31c,31d ランプ
32a,32b,32c,32d 集光鏡
33 第1平面鏡
34 レンズ
35 シャッター
36 コリメーターレンズ
37 第2平面鏡
38 電源
39 ランプハウス
39a 吸気口
39b 排気口
40 排気ファン
50a,50b,50c,50d,50e 隔壁
51 冷却水通路
52 給水管
53 排水管
Claims (6)
- 露光光を発生する複数のランプと、
各ランプが貫通する開口を底部に有し、各ランプの周囲に設けられ、各ランプから発生した露光光を集光する複数の集光鏡と、
各ランプの間に設けられ、各ランプから発生した露光光が他のランプへ照射されるのを防止し、かつ各ランプから発生した熱が他のランプへ伝わるのを抑制する隔壁と、
各集光鏡により集光された露光光がそれぞれ上方へ照射される様に、前記複数のランプ及び前記複数の集光鏡並びに前記隔壁を横方向に並べて収容し、前記複数のランプより下方の位置に吸気口を有し、前記複数のランプより上方の位置に排気ファンが接続された排気口を有し、前記吸気口から吸入された冷却媒体を、各集光鏡の開口を通して各ランプの周囲に流して前記排気口から排出し、各ランプの周囲に冷却媒体の流れを形成して各ランプを冷却するランプハウスと、
各集光鏡から照射された露光光を重ね合わせて基板へ照射する照射装置とを備え、前記複数のランプから発生した露光光により基板を露光することを特徴とする露光装置。 - 前記隔壁は、冷却水が流れる冷却水通路を有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 露光光を発生する光源に複数のランプを用い、
各ランプの周囲に、各ランプが貫通する開口を底部に有する集光鏡を設けて、各ランプから発生した露光光を集光し、
各ランプの間に隔壁を設けて、各ランプから発生した露光光が他のランプへ照射されるのを防止し、かつ各ランプから発生した熱が他のランプへ伝わるのを抑制し、
各集光鏡により集光された露光光がそれぞれ上方へ照射される様に、複数のランプ及び複数の集光鏡並びに隔壁を横方向に並べてランプハウスに収容し、
ランプハウスの複数のランプより下方の位置に吸気口を設け、ランプハウスの複数のランプより上方の位置に排気ファンが接続された排気口を設け、吸気口から吸入された冷却媒体を、各集光鏡の開口を通して各ランプの周囲に流して排気口から排出し、各ランプの周囲に冷却媒体の流れを形成して各ランプを冷却し、
各集光鏡から照射された露光光を重ね合わせて基板へ照射して、複数のランプから発生した露光光により基板を露光することを特徴とする露光方法。 - 隔壁に冷却水通路を設け、冷却水通路に冷却水を流して隔壁を冷却することを特徴とする請求項3に記載の露光方法。
- 請求項1又は請求項2に記載の露光装置を用いて、マスクのパターンを基板へ転写することを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項3又は請求項4に記載の露光方法を用いて、マスクのパターンを基板へ転写することを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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