JP2004245912A - 光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】光源を複数並べて配置する光照射装置において、コリメーション角を大きくすることなく、光の利用効率を向上させること。
【解決手段】集光鏡２ａ，２ｂの開口部を形成する円の一部を光軸に対して斜めの平面で切り取り、その切断面が平行で集光鏡２ａ，２ｂの第２焦点を共有するように集光鏡２ａ，２ｂを配置する。また、インテグレータレンズ４のレンズを長方形状とし集光鏡２ａ，２ｂをそのレンズの長辺方向に沿って配置する。ランプ１ａ，１ｂから放射される光は集光鏡２ａ，２ｂで集光されインテグレータレンズ４に入射する。インテグレータレンズ４は、光出射側のレンズに投影される光源の像が、光源全体の投影面積に対し出射側レンズ内に投影される光源の面積の割合が最も大きな面積となるように設計する。これにより、コリメーション角を大きくすることなく光の損失を小さくすることができる。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
液晶等のディスプレイパネルや、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ、またプリント基板の製造に用いられる光照射装置、および該光照射装置を備えた露光装置に関し、特に、高い光の利用効率で、長方形の光照射領域に光を照射することができる光照射装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶等のディスプレイパネルや、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ、またプリント基板は年々大型化している。例えばカラーフィルタ用の基板は生産性を向上させるために大型化しており、７５０ｍｍ×５５０ｍｍや７５０ｍｍ×６５０ｍｍから８３０ｍｍ×７３０ｍｍといった大きさのものが使われるようになってきている。基板は実際に製品として使用されるときには、いくつかに切断される。
カラーフィルタであれば基板の表面にＲＧＢに相当するフィルタの微細パターンがマトリックス形成され、プリント基板であれば回路パターンが形成される。これらのパターンを形成するために露光装置が用いられる。現状一般的には、パターンを形成したマスクを介して、基板全面を一括または分割で露光する装置が用いられている。
上記露光装置には、露光光を照射する光照射装置を備えるが、この光照射装置には照射面での照度分布を均一にするために、インテグレータレンズ（フライアイレンズともいう）が用いられる。
【０００３】
インテグレータレンズは、複数のレンズを縦横方向に複数個並列配置したものである。インテグレータレンズを構成する個々のレンズは、それぞれ入射側のレンズと出射側のレンズとからなる。
以下、図７を用いて、インテグレータレンズ４の働きを簡単に説明する。
光源Ｈからの光がインテグレータレンズ４を介して被照射面に投影される。
インテグレータレンズを構成するレンズの、光入射側のレンズをＬＡ、光出射側のレンズをＬＢとする。
光源Ｈからの光は、入射側レンズＬＡに入射する。入射側レンズＬＡ上には光源Ｈから放射した光が集光される。そして、出射側レンズＬＢ上には、入射側レンズＬＡの働きにより、光源像Ｈ’ が投影される。
入射側レンズＬＡ上に集光された照度分布は、出射側レンズＬＢの働きにより、被照射面上に投影される。
インテグレータレンズには、このようなレンズが複数２次元的に配置されているので、各々のレンズ素子からの照射光が被照射面に重ねあわされて投影され、被照射面における照度分布を均一にする。
【０００４】
ところで、光を照射する領域の形状が長方形である時、光源からの光を効率良く利用するために、所望の照射領域の縦横比に相当する縦横比である長方形状のレンズを、２次元的に複数配置したインテグレータレンズを使用することが望ましい（例えば特許文献１参照）。ここで、形状が略長方形のレンズを２次元的に複数個配置したインテグレータレンズのことを、「長方形のインテグレータ」と呼ぶことにする。
「長方形のインテグレータ」を使用する場合、光源として２個のランプを使用する装置が、特許文献２、特許文献３に記載されている。
上記特許文献２には、光源として２個のランプを使用することの効果の一つとして、複合レンズ（インテグレータ） を構成するレンズユニットのサイズが大きくならないので、コリメーション角も大きくならず、解像度が低下しないという内容が示されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１３１９２３号公報
【特許文献２】
特開平７−１３５１４９号公報
【特許文献３】
特開平１１−２６０７０５公報
【０００６】
ここで上記コリメーション角について簡単に説明する。
図８（ａ）に示すように、コリメーション角とは、被照射面に入射する光の角度αのことを示す（ここでは、同図に示す角度（半角）をコリメーション角という）。なお、図８（ａ）では、説明を簡単にするため、光源Ｈから放射される光を、コリメータレンズ７を介して被照射面に照射する場合を示しているが、実際には、光源Ｈには前記した照度分布を均一にするためのインテグレータレンズが配置される。なお、コリメータレンズはコリメータミラーであってもよいが、以下ではコリメータレンズで説明する。
コリメーション角は、被照射面への光線の最大入射角度に相当し、露光精度に大きな影響を与える。即ち、ワークをマスクに近接させてマスクパターンをワークに転写するプロキシミティ露光装置の場合、被照射面にマスクを配置するが、コリメーション角が大きいと、マスクに対し斜めに入射する成分が多くなるので解像度が低下する。
また、コリメーション角が小さすぎても光の回折現象により解像度が低下する。したがって、光照射装置及び露光装置を使用するユーザでは、各処理工程において各装置の最適なコリメーション角を設定している（例えばα＝１．８°〜２．６°程度）。
【０００７】
一般に、光源から被照射面までの距離と、コリメーション角・照度・照射範囲との関係は、次のようになる。
光源から被照射面までの距離が大きくなるほど、被照射面から見る光源の大きさは小さくなるのでコリメーション角は小さくなる。
一方、光源から被照射面までの距離が同じである場合、光源の大きさが大きくなる程、コリメーション角は大きくなる。
ここで、コリメータレンズで光源からの照射光を被照射面に平行照射する場合、コリメーション角は、コリメータレンズの焦点距離ｆと、光源Ｈの大きさで定まる。すなわち、コリメータレンズの焦点距離ｆが長くなれば、より広範囲に照射することができ、コリメーション角αは小さくなる。また、光源Ｈの大きさが大きくなれば、コリメーション角αは大きくなる。
したがって、照射範囲の大きさが決まっている場合、所望のコリメーション角とするには、光源Ｈの大きさを適切に設定する必要がある。
【０００８】
インテグレータレンズを含む光学系であっても同様である。インテグレータレンズは集光鏡の第２焦点に配置され、集光された光源からの光が入射する。そして、インテグレータレンズの光出射面が２次光源となって、光が被照射面に照射される。
インテグレータレンズを用いる場合、コリメーション角αはコリメータレンズの焦点距離ｆが定まると、光源Ｈの大きさ（すなわち、インテグレータレンズ４の大きさ）により定まる。
すなわち、インテグレータレンズを用いる場合も、図８（ｂ）に示すように、光源がインテグレータレンズに相当することとなり、コリメーション角αを所望の値にするには、光源すなわち、インテグレータレンズの大きさを適切に設定する必要がある。
コリメータレンズの焦点距離ｆは、インテグレータレンズ４からの出射角θ２と照射範囲の大きさによって決まり、コリメーション角αは、コリメータレンズの焦点距離ｆとインテグレータレンズ４の大きさにより決まるという関係がある。
【０００９】
ここで、前記したインテグレータレンズについて、入射側レンズＬＡと出射側レンズＬＢの距離ｄ、インテグレータレンズの集光角θ１，出射角θ２の関係について前記図７により説明する。
前記したように、インテグレータレンズ４は、例えば入射側レンズＬＡと出射側レンズＬＢから構成され、出射側のレンズＬＢに光源Ｈの像（光源像）、すなわち集光鏡の開口部が投影されるが、入射側レンズＬＡと出射側レンズＬＢの距離ｄに応じて、出射側レンズＬＢに投影される光源像の大きさが変わってくる。
上記ｄが図よりも短かければ、出射側レンズＬＢに投影される光源像の大きさは小さくなり、インテグレータレンズ４からの出射角θ２が大きくなる。また、上記ｄが長ければ、出射側レンズＬＢに投影される光源像の大きさは大きくなり、インテグレータレンズ４からの出射角θ２が小さくなる。
このため、上記ｄが長くなりすぎると、光源像は出射側レンズＬＢからはみ出してしまい、利用できる光の量が少なくなり効率が低下する。
通常は、出射側レンズＬＢに投影される光源像が出射側レンズＬＢ内に入るように上記ｄを設計できるのが理想である。しかし、上記ｄは出射角θ２に合わせて設定されるため、必ずしも光源像が出射側レンズＬＢ内に入るようにできるとは限らない。
特に、前記特許文献２、特許文献３に記載される２灯式の場合は、インテグレータレンズの集光角θ１が大きくなるため、出射側レンズＬＢ内に光源像が入らなくなる。
【００１０】
通常、インテグレータレンズは、入射側レンズＬＡと出射側レンズＬＢの距離ｄを適切に設定し、θ１≦θ２になるように設計できれば、光の無駄がない。すなわち、図７の（ａ）（ｂ）に示すように、出射側レンズＬＢに光源像がほぼ納まることになる。これよりｄが長くなればθ１＞θ２となり、図７の（ｃ）に示すように、出射側レンズＬＢから光源像がはみ出し光の無駄が生ずる。
なお、上記集光角θ１が大きくなれば、インテグレータレンズの入射側レンズＬＡの径φＤ（集光径）は小さくなり、θ１が小さくなれば、径φＤ（集光径）は大きくなる。また、インテグレータレンズの入射側レンズＬＡの径φＤと出射側のレンズＬＢの径φＬは同じと考えてよい。
実際の設計では、出射角θ２は小さい方が、被照射面における照度均一性が良く、中心光線の平行度（デクリネーション角）が良い。またコリメータレンズから被照射面までの距離も必要な長さに設定するために、出射角θ２は予め決まってしまっている場合が多い。
さらに、コリメーション角も露光条件に最適な角度が決まっているため、インテグレータレンズを大きくして、集光角θ１を小さくし、θ１≦θ２となるような光学系とすることができない場合が多い。
【００１１】
ユーザは、露光処理能力を上げるために、被照射面の照度を大きくすることを常に要求している。被照射面の照度を大きくするためには、光源に使用するランプの電力を大きくするか、複数のランプを並べて配置する方法がある。
ランプは電力を大きくすると、それに応じて大きさも大きくなり、集光鏡も大きくなって、光源の大きさが大きくなる。ランプを複数並べる場合も、図９（ａ）に示すように、光源の大きさが大きくなる。
ここで、図９（ｃ）に示すように光軸と集光鏡の交点から集光鏡の第１焦点までの距離をＦ１、光軸と集光鏡の交点から集光鏡の第２焦点までの距離をＦ２とし、図９（ａ）の場合のＦ１をＦ１２、Ｆ２をＦ２２とし、図９（ｂ）の一灯式の場合のＦ１をＦ１１，Ｆ２をＦ２１と表記すると、同図（ａ）に示す２灯式の場合と同図（ｂ）に示す１灯式の場合で、集光角θ１，θ１’を等しくするには、Ｆ１２＝Ｆ１１、Ｆ２２＞Ｆ２１とする必要があり、図９（ａ）の２灯式の場合には、第２焦点が光源から遠くなり光が広がる。すなわち、〔２灯式の集光円Ｂ〕＞〔１灯式の集光円Ａ〕となる。
【００１２】
このため、光の利用率の低下を避けたければ、インテグレータレンズの大きさを大きくする必要がでてくる。インテグレータレンズの大きさを大きくすると、前記したようにコリメーション角αを所望の値にするのが難しくなる。
なお、集光鏡の倍率Ｆ２２／Ｆ１２を小さくすれば、光源をインテグレータレンズの近くに配置することができるが、インテグレータレンズへの集光角θ１’が大きくなり、出射角θ２は光学系で決まっているためθ１’＞θ２となり、出射側レンズＬＢから光源像がはみ出し光の無駄が生じる。
このため、前記した特許文献２，３に記載のものでは、２つの光源の像が長方形状の複合レンズ（インテグレータレンズ）の長辺方向に並ぶように、２つの光源を配置している。
このようにして、光源が大きくなっても、２個の光源像が長方形状のインテグレータレンズの中に収まり、インテグレータレンズの大きさをそれほど大きくする必要がなく、コリメーション角を所望の値に設定することが可能な場合を示している。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
前記特許文献３には、２個の光源をインテグレータレンズの長辺の方向に沿って並べることにより、特許文献３の図４のように、２個の光源の像を長方形のインテグレータレンズの中に形成させることができ、コリメーション角を大きくすることなく、即ち解像度の低下なく、従来のほぼ倍の高い照度を得ることができる旨、記載されている。ちなみに上記図４はインテグレータの出射側のレンズに投影されている光源の像である。
しかしながら、２個の光源を、長方形のインテグレータレンズの長辺方向に並べることについては、次のような問題がある。
すなわち、特許文献３の図４は、同明細書中の段落０００９に記載されているように、光源像が余裕を持ってレンズ内に入るように示されているのでわかりにくいが、実際に要求されるさまざまな条件を考えると、長方形の縦横比が１：２以外の場合や、照射範囲が小さくなった場合、２個の光源を並べたとしても、照度や光の利用効率が低下する場合がある。前記したように、コリメーション角は露光条件により最適な角度が決められているため、照射領域の大きさや、縦横比等によって、集光角θ１と出射角θ２の関係がθ１＞θ２となることが多く、光の無駄を生じるからである。
【００１４】
これは、以下の理由による。
図１０に示すように、レンズの長方形の縦横比が１：２であれば、同じ大きさの光源を２個、インテグレータの出射側のレンズＬＢに並べて投影することができる。この場合、光源が１個の場合に比べて、コリメーション角を大きくすることなく、照度は２倍になる。
しかし、上記公報にも書かれているように、照射領域の縦横比は１：２またはそれに近い比率に限られるわけではない。例えば被照射体が液晶パネルであり、照射領域が５５０ｍｍ×７６０ｍｍの場合、縦横比は１：１．３８となる。ここでは例として照射領域の縦横比が１：１．５、即ちインテグレータレンズの縦横比が１：１．５の場合を考えてみる。
図１１（ａ）は、縦横比が１：１．５の出射側レンズＬＢ中に、１個の光源が収まる構成で、このときの照度を１とする。長方形の中に光源の像（光っている面積）がすべて入っているため光の利用効率が良い。ここで図１１（ａ）と同じ大きさの光源を２個、長辺の方向に並べると、同図（ｂ）に示すように、光源像が出射側のレンズＬＢに投影されたとき、光源の像のうちＡ部分がレンズＬＢからはみ出してしまう。
このはみ出した光Ａは、前記特許文献３の段落００１２に記載されているように、光照射領域に到達せず無駄になる。
【００１５】
そこで、光Ａが、出射側レンズＬＢからはみ出さないようにするためには、集光角θ１を小さくすれば良いが、そうすると集光径が大きくなり、無駄なく光を取り込むためには、インテグレータレンズが大きくなり、その結果、コリメーション角が大きくなり、採用できないことになる。
また、同図（ｂ）の場合、出射側レンズＬＢからはみ出している光Ａの面積は一つの光源に対して約１９％あり、その分の光が使われなくなるので、照度は同図（ａ）に対して１．６１倍にしかならない。
一方、同図（ｃ）のように、１：１．５の長方形の中に２個の光源が収まるよう、１個の光源の大きさを小さくして並べると、照度は同図（ａ）に対して２倍になるが、この場合集光角θ１が小さくなって集光径が大きくなっているため、同図（ａ）（ｂ）と同じコリメーション角で使用する場合、集光径の周辺部は使えなくなり、照度はその分低くなり、同図（ａ）に対して１．５倍と、同図（ｂ）よりも小さくなる。
以上のように、２個の光源を長方形のインテグレータレンズの長辺方向に並べて投影しても、必ずしも光の利用効率を向上させることはできず、また、光の利用効率を良くするため、インテグレータレンズ大きくするとコリメーション角を所望の値にすることができず、所望の値のコリメーション角で使用すると、インテグレータが小さくなり、さらに光の利用効率が悪くなるという問題があった。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、光源を複数並べて配置する光照射装置において、コリメーション角を大きくすることなく、光の利用効率を向上させることである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明においては、光軸に対して直角方向の断面形状が矩形状であるレンズを、縦横方向に複数個並列配置することにより構成されたインテグレータレンズと、集光鏡とランプとにより構成された複数の光源とを備えた光照射装置において、集光鏡の開口部を形成する円の一部を光軸に対して斜めの平面で切り取り、切り取ったことにより形成される切断面が、平行で集光鏡の第２焦点を共有するように、複数の集光鏡を配置する。
また、上記インテグレータレンズを構成するレンズが長方形状の場合には、上記光源を構成する複数の集光鏡を、上記レンズの長辺方向に沿って配置する。
さらに、該光源像が長方形のインテグレータレンズの出射側レンズに投影されたとき、欠円部分の投影像の面積と、インテグレータレンズからはみ出る投影像の面積とが、同じ面積となるように上記集光鏡の開口部と上記切断面とで形成される欠円部分の面積を定める。
本発明においては、上記構成としたので、コリメーション角を大きくすることなく、光の利用効率を上げて、被照射面の照度を高くすることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施例の光照射装置の概略構成を示す図、図２は本実施例の光源の構成を示す図である。
図１に示すように、本実施例においては、光源Ｈとして２個のランプ１ａ，１ｂ及び集光鏡２ａ，２ｂが使用される。２個の集光鏡２ａ，２ｂは、各々の第２焦点が一致するように配置される。
図２は図１に示した光源１０の構成を示す図であり、同図に示すように、本実施例においては、集光鏡２ａ，２ｂの開口部を含む集光鏡２ａ，２ｂの一部を集光鏡の光軸に対して斜めに切り取り、該切断面が平行で集光鏡の第２焦点を共有するように配置している。
図１において、光源Ｈからの光は、第１平面鏡３で折り返され、第２焦点位置に置かれたインテグレータレンズ４に入射する。
インテグレータレンズ４は、前記したように長方形状のレンズから構成され、上記２つの集光鏡２ａ，２ｂの開口部の像が長方形状のインテグレータレンズの長辺方向に並ぶように配置されている。
【００１８】
インテグレータレンズ４により被照射面で照度分布が均一になるように調整された光は、シャッタ５を介し、第２平面鏡６で折り返され、コリメータレンズ７で中心光線が平行になって被照射面８に照射される。照射される光のコリメーション角は例えば２．６°である。なお、図１ではコリメータレンズを示したが、コリメータミラーであってもよい。
例えば、５５０×７６０ｍｍの照射範囲を照射する場合には、１個の集光鏡の開口径はφ５１５ｍｍである。実際は、集光鏡２ａ，２ｂの材質はガラスであり、ランプ点灯中はランプ１ａ，１ｂからの輻射により加熱され膨張するので、２つの集光鏡２ａ，２ｂは、切断面で接触させることはせず例えば５ｍｍ程度の隙問をもって設けられている。
なお、プロキシミティ露光装置の場合、被照射面にマスクパターンが形成されたマスクが置かれ、マスクを介して、被照射体であるワーク全域に露光光が照射される。また、ワークの一部に光を照射するような装置の場合は、分割露光が行われる。
【００１９】
図３は、本実施例において、インテグレータレンズ４の出射側レンズＬＢに投影される光源像の一例を示す図である。
本実施例においては、出射側レンズＬＢに集光鏡２ａ，２ｂの開口部の像が図３のように投影されるようにしている。
すなわち、同図に示すように、集光鏡２ａ，２ｂの開口部の投影像の直径ａ（切り欠きがない部分の開口部の投影像の直径）と、長方形状のインテグレータレンズ４の短辺の長さｂが等しくなるように投影している。実際はコリメーション角や照射範囲の大きさ等によって投影される大きさは異なるが、ここでは図１１との比較で説明する。
また、集光鏡２ａ，２ｂの切り欠きの大きさは、インテグレータレンズ４の出射側レンズＬＢに投影される光源の像（集光鏡２ａと２ｂを合わせた光源像）が、図３に示すように、出射側レンズＬＢの長方形の領域からはみ出る光の面積Ｂと、円弧を切り欠くことにより失われる欠円部分の面積Ｃとが等しくなる（Ｂ＝Ｃ）ようにされている。すなわち、集光鏡２ａ，２ｂの開口部の像（光源像）がインテグレータレンズ４の出射側のレンズＬＢに投影されたとき、集光鏡２ａ，２ｂの切断面により上記集光鏡の開口部に形成される円弧とその弦で囲まれる欠円部分の面積と、上記出射側のレンズＬＢからはみ出る面積とが等しくなるようにする。
【００２０】
上記のように設定した場合、使われないＢとＣを加えた面積は、一つの光源に対して約１４．４％であり、前記図１１（ｂ）の場合より少なくなる。これにより、照度は、前記図１１（ａ）に対して１．７１倍となり、図１１（ｂ）のように配置した場合の１．６１倍よりも大きくなる。
上記では、Ｂ＝Ｃの場合について説明したが、一般には、集光鏡２ａ，２ｂを切り欠く大きさは、インテグレータレンズ４の出射側レンズＬＢの長方形に対し、それに含まれる光源全体の投影面積に対し出射側レンズＬＢ内に投影される光源の面積の割合が最も大きくなるように計算して求める。原則としては、上記のように集光鏡の投影像の大きさを求め、インテグレータレンズ４の出射側レンズＬＢに投影像を配置させた時、投影像が出射側レンズＬＢからはみ出す面積と、集光鏡の切り取りにより投影像から失われる面積とが同じになるよう集光鏡の切り取る面積を求めれば良い。
【００２１】
なお、インテグレータレンズ４の長方形状のレンズの縦横比が１：２の場合でも、集光鏡の大きさや被照射面の大きさが決まっていて、コリメーション角の制限によりインテグレータのレンズを大きくできない場合には、集光角θ１を出射角θ２に対して小さくすることができなくなり、図４（ａ）に示すように、光源の投影像が出射側のレンズＬＢからはみ出る。
このような場合も、図４（ｂ）に示すように、上記と同様に集光鏡２ａ，２ｂを切り取り、切り取りにより投影像から失われる円弧の面積Ｃと出射側レンズＬＢからはみ出す面積Ｂとが同じになるようにすれば、集光鏡２ａ，２ｂを切り取らない場合に比べて光の利用効率を上げることができる。
【００２２】
図５，図６は本発明の他の実施例を示す図であり、図５（ａ）は、インテグレータレンズ４の長方形状レンズの縦横比の関係から、インテグレータレンズ４に対して、光源が斜めになるように配置することにより、さらに光の利用効率を良くした例である。
図５（ｂ）は長辺の方向に沿って光源を配置した場合であり、これに対して、同図（ａ）のように、斜めに配置することにより、コリメータ角を大きくすることなく、はみ出す光の量をさらに少なくし、光を効率よく利用することができる。
上記実施例では、インテグレータレンズとして、長方形状のレンズを用いた場合について説明したが、本発明は、例えば図６に示すように４個の集光鏡を用い、正方形状に近いインテグレータレンズを用いた場合にも適用することができる。
図６は、光源として４個の集光鏡を碁盤目状に並べ、インテグレータレンズとして正方形状に近いレンズを用いた場合における、インテグレータレンズ上に投影される投影像を示す図である。
このような場合にも、同図に示すように、集光鏡を切り取ることにより、出射側レンズ上に光源像を光のロスを少なくして配置することができ、光の利用効率を上げることができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明においては、複数の光源を並べる装置において、集光鏡の一部を切り欠いて複数の光源を並べるようにしたので、コリメーション角を大きくすることなく、光の利用効率を上げて、被照射面の照度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の光照射装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示した光源の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施例において、インテグレータレンズの出射側レンズに投影された光源像の一例を示す図である。
【図４】インテグレータレンズの出射側レンズに投影される光源像の一例（レンズの縦横比が１：２の場合）を示す図である。
【図５】インテグレータレンズ４に対して光源が斜めになるように配置した場合を示す図である。
【図６】光源として４個の集光鏡を用いた場合を示す図である。
【図７】インテグレータレンズの働きを説明する図である。
【図８】コリメーション角を説明する図である。
【図９】光源の構成例と、集光角、集光円の関係を説明する図である。
【図１０】インテグレータレンズの出射側レンズに投影される光源像の一例（レンズの長方形の縦横比が１：２の場合）を示す図である。
【図１１】インテグレータレンズの出射側レンズに投影される光源像の一例（レンズの縦横比が１：１．５の場合）を示す図である。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ ランプ
２ａ，２ｂ 集光鏡
３ 第１平面鏡
４ インテグレータレンズ
５ シャッタ
６ 第２平面鏡
７ コリメータレンズ
８ 被照射面
ＬＡ インテグレータレンズの入射側レンズ
ＬＢ インテグレータレンズの出射側レンズ
Ｈ 光源

Claims (3)

1. 光源から出射された光を、インテグレータレンズを介して矩形状の被照射物に照射する光照射装置であつて、
   光軸に対して直角方向の断面形状が矩形状であるレンズを、縦横方向に複数個並列配置することにより構成されたインテグレータレンズと、
   集光鏡とランプとにより構成された複数の光源とを備え、
   上記集光鏡の開口部を含む集光鏡の一部を集光鏡の光軸に対して斜めに切り取り、該切断面が平行で集光鏡の第２焦点を共有するように、複数の集光鏡を配置した
   ことを特徴とする光照射装置。
2. 上記光源は、上記インテグレータレンズを構成する断面形状が矩形状であるレンズの長辺方向に沿って配置された２個の光源からなる
   ことを特徴とする請求項１の光照射装置。
3. 上記光源の像がインテグレータレンズの出射側のレンズに投影されたとき、該投影された光源像が上記出射側のレンズからはみ出る面積と、集光鏡の切り取りにより失われる欠円部分の面積とが等しくなるように、上記集光鏡が切り取られていることを特徴とする請求項１または２の光照射装置。

Images