CN2496130Y - 曝光机灯管水冷装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种曝光机灯管水冷装置,主要指一种组装于曝光机上,用于将位于曝光机上提供灯源的灯管适当冷却的水冷装置。该水冷装置是由石英玻璃一体成型有内、外水套,用以套置于该灯管部位进行冷却作用,可使灯头露出水套外,利用通风方式达成自然冷却,提供一个灯管能发挥其正常照射强度,使用寿命长,缩短曝光时间,效率高。

Description

曝光机灯管水冷装置
本实用新型涉及一种水冷装置,特别是一种能对曝光机灯管适当冷却,使灯头露出套体外,提供一个灯管能发挥其正常照射强度,增加使用寿命,缩短曝光时间,提高作业效率。
现有的紫外线曝光机(如图1-3所示),大体是由位于曝光机上的紫外线灯管10,由一水套组12将整支灯管10及灯头11整个罩覆密闭于内,并使灯管10、水套组12于灯罩外箱15内,且灯管10是借着灯管固定座13固定该灯头11,而灯管固定座13再固接在固定板131上,而水套组12固置于水套固定座14上,灯管固定座13、水套固定座14均受一反射架固定板16加以固定于该灯罩外管150内。仍存在有其缺点:由于整支灯管10、灯头11皆密闭在水套组12,使得原本不需冷却的灯头11部份也因密闭设计而接收到灯管10烘热影响却无法散热,因灯头并无需进行照射,故而必需另外加装“气冷系统”对灯头进行冷却作用,如此一来,又会对灯管10电极产生过冷影响,如此过热,过冷的两极变化,势将使得紫外线(UV)灯管无法发挥正常照射强度,甚至会加速使灯管衰减、老化,减短使用寿命,造成照射强度大幅降低,会大幅增加曝光时间,甚至中断曝光的运作程序,降低生产效率。
另外,该水套组12是由二水套121、122构成,且第一水套121口径比第二水套122口径较小,使第一水套121可套入该第二水套122内,因水套组12是整个罩覆该灯管10及管头11,故必须由第一、第二水套盖123、124加以封盖第一、二水套121、122开口,并于两水套盖123、124内加装有托片125、126防止雨水套内的水流漏出来。从现有技术知结构,构造零件太复杂,清洁操作时必需拆下大部份零件(例如内、外水套盖123、124、灯管固定座13,水套固定座14,才能对灯管10进行更换或清洁的操作),另在制程上车加工、铁加工、载切、弯折、焊接……等等,造成组装费工费时,零件多必须保持各自的水密。
本实用新型的目的在于提供一种安装方便,而灯管受到适当冷却作用,能发挥正常照射强度,曝光时间短,以提高作业效率者。
本实用新型的目的是这样实现的:该水冷装置仅套罩该灯管部位,进行水冷的冷却作用,而使灯头露出,达成自然冷却的效果,提供一个灯管能发挥其正常照射强度,增加使用寿命,缩短曝光时间,提高工作效率。
水冷装置是由一组石英玻璃构成有一具内、外水套的水冷套体。一种灯头露出套体外,不需再加装气冷系统,采用开放通风方式的自然冷却,不致受灯管影响而不会有过热现象,以增加灯管使用寿命的曝光机灯管水冷装置。
本实用新型具有如下优点:设计合理,结构简单,安装方便,而灯管受到适当冷却作用,能发挥正常照射强度,曝光时间短。
附图的图面说明如下:
图1是现有技术的组合示图,
图2是现有技术的剖视示图,
图3是图2的剖视示图,
图4是本实用新型的结构示意图,
图5是本实用新型图4的仰视图,
图6是本实用新型图5的示意图,
图7是本实用新型的曝光机冷却系统示意图。
下面将结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详述:水泵2、灯管20、灯头21、灯管固定板23、穿孔231、冷却器3、水冷装置30、内水套31、外水套32、入水水管接头33、出水水管接头34、水套固定座35、水套固定压板36、冷却系统4、反射架固定板40、反射架支撑板41、灯罩外箱50、反射器51、52、53、曝光台54。
如图1、图4、图5所示,一种曝光机灯管水冷装置,它包括灯管20及水冷装置30;其特征在于:灯管20是为一种紫外线(UV)灯管,两端为灯头21设计:
水冷装置30是由一石英玻璃一体成型有内、外水套31、32两水套互隔适当间距,且其中心孔可穿套上述该灯管20,并配合灯管20预设的发光区域长度而设计该内,外水套31、32的长度,使灯管20的灯头21部位露出内、外水套31、32外。另外,内、外水套31、32一体成型后,两端连接(可以烧焊方式达成)有入水、出水水管接头33、34,使蒸馏水可由位于下方的入水水管接头33进行入水,而由位于上方的出水水管接头34进行出水,使蒸馏水完全不外漏。
将水冷装置30的一体成型的内、外套,用以外套于灯管20预设发光部位,进行冷却作用,使不必产生热源的“灯头21”露出两水套31、32外,不仅不会受灯管产生的热源所影响,反而可利用开放的通风方式达成自然冷却,提供灯管20能完全发挥正常照射强度,增加使用寿命,缩短曝光时间,提高工作效率。
本实用新型灯管20及内、外水套的装置,具体是灯管20是由灯管固定板23在灯头21部位固定后灯管固定板23可以一端的穿孔231穿置灯头21,如图6所示的穿孔231可设计呈角形,使灯头21穿设后又具有定位效果,而一体成型的内、外水套31、32是由水套固定座35固定的,而水套固定座35两侧则由一反射架固定板40固定,再将整组固定在灯罩外箱50;另外该水套固定座35并连接反射架支撑板41,再以水套固定压板即达组装完成。
如图7所示,蒸馏水由循环水箱1经由一水泵2,再到达内、外水套31、32之间流动,使灯管20所发出紫外线(UV)强光能适当降低温度,最后经由冷却器3把蒸馏水降温为冰水,流回该循环水箱1,其冷却系统4外接水管而可做热交换作用,同时该冷却器3所吸收的热则能由该冷却系统4带走。又如图1所示,该曝光机是为实施曝线路用,其中灯罩外箱50是由灯管20而提供曝光所需灯源,再经由第1、2、3反射器51、52、53,到达曝光台54进行曝光线路工作,此时冷却器3则把曝光所产生的热能带走。
本实用新型具有如下优点:
1.安装方便,又具有防止漏水效果;
2.可提高曝光线路工作效率:水冷装置仅对灯管适当冷却作用,使灯管能发挥正常照射强度。
3.增加灯管使用寿命,提高工作效率。
4.提供良好的灯源环境:能提供灯管发光区750℃-800℃,灯头200℃-250℃,使水冷装置30仅对灯管适当冷却作用,使灯管能发挥正常照射强度,而灯头则可利用通风方式达到自然冷却。

Claims (3)

1、一种曝光机灯管水冷装置,它是由一种安装于曝光机上,用于将位于曝光机上提供灯源的灯管适当冷却的水冷装置,其特征在于:水冷装置上设有相互穿套的内、外水套,用以对应套罩于灯管预设发光部位,进行适当冷却作用,可使灯头露出水套外,达成自然冷却。
2、如权利要求1所述的曝光机灯管水冷装置,其特征在于:内、外水套是由石英玻璃一体成型的。
3、权利要求1所述的曝光机灯管水冷装置,其特征在于:内、外水套两端连接有入水、出水水管接头,使水可由入水水管接头进行入水,而由出水水管接头进行出水,使水完全不外漏。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101154052B (zh) * 2006-09-28 2011-02-09 株式会社日立高科技 曝光用光源、曝光装置、曝光方法、以及面板基板的制造方法

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