JP2010256437A - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のマスク搬送方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャック10に、チャック10の内部から上昇する複数の突き上げピン12a,12b,12cを設ける。各突き上げピン12a,12b,12cの先端をマスクより柔らかい材質のものに変更し、マスクをマスク搬送装置によりチャック10へ搬入し、マスクを複数の突き上げピン12a,12b,12cによりマスク搬送装置から受け取る。ステージによりチャック10を移動して、マスクの位置決めを行い、マスクを複数の突き上げピン12a,12b,12cによりマスクホルダ20に装着した後、各突き上げピン12a,12b,12cの先端をチャック10の表面と同じ材質のもの(パッド30)に変更する。
【選択図】図11
Description
2,2a,2b マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
11 モータ
12a,12b,12c 突き上げピン
13 蓋
14 フランジ
15,17,19 ボルト
16 止めねじ
18 支持プレート
20 マスクホルダ
21a,21b ホルダ部
22 マスク位置検出窓
23 負圧ガラス
24 ガイド
30 パッド
31 パッド着脱装置
32 エアシリンダテーブル
33 チャックベース
34 エアチャック
35 ブラケット
36 クランプ
36a 凹部
40 マスク搬送ロボット
41 ハンドリングアーム
41a マスク支持部
42 マスクストッカー
50 突き上げピン駆動制御回路
51 広視野カメラ
52 高分解能可動カメラ
53 カメラ移動機構
54 高分解能固定カメラ
55 画像処理装置
71 Xステージ駆動回路
72 Yステージ駆動回路
73 θステージ駆動回路
80 主制御装置
Claims (8)
- 基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、前記チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
マスクを前記チャックへ搬入するマスク搬送装置と、
前記チャックに設けられ、前記チャックの内部から上昇して、マスクを前記マスク搬送装置から受け取り、前記マスクホルダに装着する複数の突き上げピンと、
前記複数の突き上げピンの先端を変更するピン先端変更手段と、
前記ステージの移動を制御して、マスクの位置決めを行う制御手段とを備え、
前記ピン先端変更手段は、前記複数の突き上げピンがマスクを前記マスク搬送装置から受け取る前、各突き上げピンの先端をマスクより柔らかい材質のものに変更し、前記複数の突き上げピンがマスクを前記マスクホルダに装着した後、各突き上げピンの先端を前記チャックの表面と同じ材質のものに変更することを特徴とするプロキシミティ露光装置。 - 前記複数の突き上げピンは、先端がマスクより柔らかい材料で構成され、
前記ピン先端変更手段は、前記複数の突き上げピンの先端に前記チャックの表面と同じ材質のパッドを取り付け、または前記複数の突き上げピンの先端から当該パッドを取り外して、前記複数の突き上げピンの先端を変更することを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 前記複数の突き上げピンは、第1のマスク及び第1のマスクと縦横いずれかの長さが異なる第2のマスクの、間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の共用突き上げピンと、第1のマスクの残りの向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の第1の専用突き上げピンと、第2のマスクの残りの向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の第2の専用突き上げピンとを含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプロキシミティ露光装置。
- 基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法であって、
チャックに、チャックの内部から上昇する複数の突き上げピンを設け、
各突き上げピンの先端をマスクより柔らかい材質のものに変更し、
マスクをマスク搬送装置によりチャックへ搬入し、
マスクを複数の突き上げピンによりマスク搬送装置から受け取り、
ステージによりチャックを移動して、マスクの位置決めを行い、
マスクを複数の突き上げピンによりマスクホルダに装着した後、
各突き上げピンの先端をチャックの表面と同じ材質のものに変更することを特徴とするプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。 - 各突き上げピンの先端を、マスクより柔らかい材料で構成し、
各突き上げピンの先端にチャックの表面と同じ材質のパッドを取り付け、または各突き上げピンの先端から当該パッドを取り外して、各突き上げピンの先端を変更することを特徴とする請求項4に記載のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。 - チャックに、第1のマスク及び第1のマスクと縦横いずれかの長さが異なる第2のマスクの、間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の共用突き上げピンと、第1のマスクの残りの向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の第1の専用突き上げピンと、第2のマスクの残りの向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の第2の専用突き上げピンとを設けることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法を用いてマスクをマスクホルダに装着し、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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JP2013054343A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-03-21 | Nsk Technology Co Ltd | 近接露光装置及び近接露光方法 |
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JP2005310989A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 基板及びフォトマスクの受け渡し方法、並びに基板及びフォトマスクの受け渡し装置 |
-
2009
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