JPS59159946U - 半導体装置の製造装置 - Google Patents

半導体装置の製造装置

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Publication number
JPS59159946U
JPS59159946U JP5517483U JP5517483U JPS59159946U JP S59159946 U JPS59159946 U JP S59159946U JP 5517483 U JP5517483 U JP 5517483U JP 5517483 U JP5517483 U JP 5517483U JP S59159946 U JPS59159946 U JP S59159946U
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JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor device
device manufacturing
light
light receiver
manufacturing equipment
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Pending
Application number
JP5517483U
Other languages
English (en)
Inventor
織田　一隆
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Publication of JPS59159946U publication Critical patent/JPS59159946U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本案の一実施例を示す側断面図、第２図はコレ
ットの正断面図である。 図中、１はコレット、２は孔、３は受光器、５は半導体
素子、８は投光器である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 第１のポジションに配列された半導体素子をコレットニ
    て真空吸着して第２のポジションに移送するものにおい
    て、上記コレットに受光器（又は投光器）を、下端吸着
    部に開口する孔内もしくは孔に対向するように配設する
    と共に、第１、第２のポジション間に投光器（又は受光
    器）を、コレットの移動時にそれの孔を介して受光器（
    又は投光器）と対向するように配設したことを特徴とす
    る半導体装置の製造装置。
JP5517483U 1983-04-12 1983-04-12 半導体装置の製造装置 Pending JPS59159946U (ja)

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JPS59159946U true JPS59159946U (ja) 1984-10-26

Family

ID=30185499

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57122535A (en) * 1981-01-23 1982-07-30 Hitachi Ltd Pellet bonding device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57122535A (en) * 1981-01-23 1982-07-30 Hitachi Ltd Pellet bonding device

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