JPS5996831U - コ−テイング装置 - Google Patents

コ−テイング装置

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Publication number
JPS5996831U
JPS5996831U JP19131882U JP19131882U JPS5996831U JP S5996831 U JPS5996831 U JP S5996831U JP 19131882 U JP19131882 U JP 19131882U JP 19131882 U JP19131882 U JP 19131882U JP S5996831 U JPS5996831 U JP S5996831U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating equipment
exhaust port
amount
alcohol vapor
lower exhaust
Prior art date
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Pending
Application number
JP19131882U
Other languages
English (en)
Inventor
正幸 橋本
Original Assignee
クラリオン株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by クラリオン株式会社 filed Critical クラリオン株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のコーティング装置の断面図、第２図は本
考案によるコーティング装置の断面図である。 １・・・カップ、２・・・下部排気口、３・・・回転シ
ャフト、４・・・ウェファφチャック、５・・・ウェフ
ァ、６・・・上部排気口、７・・・アルコール蒸気導入
ワ、８・・・ウェファからの蒸発物、９・・・大気、１
０・・・ウェファから蒸発するスピンオン溶液溶媒の通
路、１１・・・排気される大気の通路、１２・・・導入
されるアル　　−コール蒸気の通路、１“３・・・下部
排気口を通る排気の通路。　　　　、

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一　　　　　　アルコール蒸気を導入するための導入口
    と、下部排気口に加えて上部排気口と、カップ内の雰囲
    気を所定の圧力にするようにアルコール蒸気導入量、下
    部排気量および上部排気量を制御する制御装置を具備す
    ることを特徴とするコーティング装置。
JP19131882U 1982-12-20 1982-12-20 コ−テイング装置 Pending JPS5996831U (ja)

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JP19131882U JPS5996831U (ja) 1982-12-20 1982-12-20 コ−テイング装置

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JP19131882U JPS5996831U (ja) 1982-12-20 1982-12-20 コ−テイング装置

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JPS5996831U true JPS5996831U (ja) 1984-06-30

Family

ID=30412019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19131882U Pending JPS5996831U (ja) 1982-12-20 1982-12-20 コ−テイング装置

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JP (1) JPS5996831U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009158767A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Tokyo Electron Ltd 回転塗布装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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