JPS6312836U - - Google Patents

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JPS6312836U
JPS6312836U JP10642086U JP10642086U JPS6312836U JP S6312836 U JPS6312836 U JP S6312836U JP 10642086 U JP10642086 U JP 10642086U JP 10642086 U JP10642086 U JP 10642086U JP S6312836 U JPS6312836 U JP S6312836U
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JP
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tape
pellet
stage
needle
adsorbing
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JP10642086U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のペレツト突上げ装置の断面図
である。第２図は従来のペレツト突上げ装置の断
面図である。第３図は従来のペレツト突上げ装置
の突上げ状態を示す断面図である。 １……ペレツト認識装置、２……半導体ペレツ
ト、３……テープ、４……多孔質焼結金属板、５
……弱真空口、６……強真空口、７……突上げ針
、８……コレツト、９……吸着口、１０……突上
げステージ、１１……吸着口、１２……吸着溝。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 多孔質材料にて形成されたペレツトをテープ上
    に貼付けたテープを吸着固定するステージと、該
    ステージに吸着されたテープを下から突き上げて
    所定のペレツトを該テープから剥離する針とを有
    することを特徴とするペレツト突上げ装置。
JP10642086U 1986-07-11 1986-07-11 Pending JPS6312836U (ja)

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JP10642086U JPS6312836U (ja) 1986-07-11 1986-07-11

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JP10642086U JPS6312836U (ja) 1986-07-11 1986-07-11

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JPS6312836U true JPS6312836U (ja) 1988-01-27

Family

ID=30981761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10642086U Pending JPS6312836U (ja) 1986-07-11 1986-07-11

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JP (1) JPS6312836U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015053419A (ja) * 2013-09-09 2015-03-19 株式会社東芝 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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