JPS5856441U - 真空チヤツクの吸着部 - Google Patents
真空チヤツクの吸着部Info
- Publication number
- JPS5856441U JPS5856441U JP15185781U JP15185781U JPS5856441U JP S5856441 U JPS5856441 U JP S5856441U JP 15185781 U JP15185781 U JP 15185781U JP 15185781 U JP15185781 U JP 15185781U JP S5856441 U JPS5856441 U JP S5856441U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chuck
- adsorption part
- sealing layer
- peripheral sealing
- peripheral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の真空チャ％７りの断面図、第２図は本考
案の実施例の断面図、第３図は本考案吸着 部の研削
後の吸着面の拡内図を示す。 １１・・・・・・多孔質セラミックス板、１２・・・・
・・外周シール層。
案の実施例の断面図、第３図は本考案吸着 部の研削
後の吸着面の拡内図を示す。 １１・・・・・・多孔質セラミックス板、１２・・・・
・・外周シール層。
Claims (1)
- 多孔質セラミックス板の周縁部に外周シール層を設けて
なる真空チ苓ツクの吸着部において、外周シール層をア
ルミナ粉末温容エポキシ樹脂で形成したことを特徴とす
る吸着部。−
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15185781U JPS5934143Y2 (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | 真空チヤツクの吸着部 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15185781U JPS5934143Y2 (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | 真空チヤツクの吸着部 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5856441U true JPS5856441U (ja) | 1983-04-16 |
| JPS5934143Y2 JPS5934143Y2 (ja) | 1984-09-21 |
Family
ID=29944536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15185781U Expired JPS5934143Y2 (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | 真空チヤツクの吸着部 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5934143Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0847835A (ja) * | 1994-08-01 | 1996-02-20 | Ckd Corp | 真空チャックの吸着板 |
-
1981
- 1981-10-13 JP JP15185781U patent/JPS5934143Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0847835A (ja) * | 1994-08-01 | 1996-02-20 | Ckd Corp | 真空チャックの吸着板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5934143Y2 (ja) | 1984-09-21 |
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