JPS59187147U - シリコンウエハ真空吸着盤 - Google Patents

シリコンウエハ真空吸着盤

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Publication number
JPS59187147U
JPS59187147U JP8112083U JP8112083U JPS59187147U JP S59187147 U JPS59187147 U JP S59187147U JP 8112083 U JP8112083 U JP 8112083U JP 8112083 U JP8112083 U JP 8112083U JP S59187147 U JPS59187147 U JP S59187147U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon wafer
suction cup
vacuum suction
wafer vacuum
thin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8112083U
Other languages
English (en)
Inventor
嘉之 上野
Original Assignee
日本電信電話株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電信電話株式会社 filed Critical 日本電信電話株式会社
Priority to JP8112083U priority Critical patent/JPS59187147U/ja
Publication of JPS59187147U publication Critical patent/JPS59187147U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の真空吸着盤の断面図、第２図は他の従来
の真空吸着盤の断面図、′第３図ａは本考案の一実施例
に係る吸着盤の断面図、第３図すはその部分断面図、第
４図ａ、　　ｂは本考案の他の実施例の部分的断面図で
ある。 図面中、１は本体部材、２は排気用小孔、３はパイプ、
４は真空室、５は排気口、６は吸着面に接着された軟質
バッキング、７は通気孔、１０はシリコンウェハ、１１
はゴム製薄膜シール、１２は薄膜シールの側部、１３は
ゴム製薄膜シール収容用溝である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. シリコンウエハポリシング用真空吸着盤において、シリ
    コンウェハ外縁よりやや内側に位置する吸着面内に弾性
    質の薄膜シールを吸着面より僅かに突出し、かつ気密に
    埋設して成ることを特徴とするシリコンウェハ真空吸着
    盤。
JP8112083U 1983-05-31 1983-05-31 シリコンウエハ真空吸着盤 Pending JPS59187147U (ja)

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JP8112083U JPS59187147U (ja) 1983-05-31 1983-05-31 シリコンウエハ真空吸着盤

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JP8112083U JPS59187147U (ja) 1983-05-31 1983-05-31 シリコンウエハ真空吸着盤

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JPS59187147U true JPS59187147U (ja) 1984-12-12

Family

ID=30211091

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JP8112083U Pending JPS59187147U (ja) 1983-05-31 1983-05-31 シリコンウエハ真空吸着盤

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11309638A (ja) * 1998-04-28 1999-11-09 Kyocera Corp 真空吸着盤
JP2001085449A (ja) * 1999-09-10 2001-03-30 Disco Abrasive Syst Ltd Ｃｓｐ基板保持部材及び該ｃｓｐ基板保持部材が載置されるｃｓｐ基板用テーブル
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