JPS585345U - ウエハチヤツク - Google Patents
ウエハチヤツクInfo
- Publication number
- JPS585345U JPS585345U JP9664181U JP9664181U JPS585345U JP S585345 U JPS585345 U JP S585345U JP 9664181 U JP9664181 U JP 9664181U JP 9664181 U JP9664181 U JP 9664181U JP S585345 U JPS585345 U JP S585345U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- sealing material
- annular sealing
- suction surface
- wafer chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のウェハチャックの半径方向の断面図、第
２図は本考案のウェハチャックの半径方向の断′面図、
第３図は第２図のウェハチャックの要部断面図である。 １：保持体、３：環状シール材、１２：被覆体。
２図は本考案のウェハチャックの半径方向の断′面図、
第３図は第２図のウェハチャックの要部断面図である。 １：保持体、３：環状シール材、１２：被覆体。
Claims (3)
- （１）下記構成を具備することを特徴とするウェハチャ
ック。 （イ）ウェハを吸着する吸着面を有し一端が上記吸−着
面に開口する吸引孔が設けられた保持体。 （ロ）弾性体により形成されかつ上記保持体の吸着面に
固着されて上記吸着されたウェハと密着する環状シール
材。 （ハ）上記環状シール材より非粘着性が大きくかつ少な
くとも上記環状シール材の上記ウェハとの密着部分に被
着された被覆体。 - （２）環状シール材がシリコーンゴムであることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のウェハチャ
ック。 - （３） 被覆体がフッ素樹脂であることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項または第２項記載のウェ
ハチャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9664181U JPS5934142Y2 (ja) | 1981-07-01 | 1981-07-01 | ウエハチヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9664181U JPS5934142Y2 (ja) | 1981-07-01 | 1981-07-01 | ウエハチヤツク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS585345U true JPS585345U (ja) | 1983-01-13 |
| JPS5934142Y2 JPS5934142Y2 (ja) | 1984-09-21 |
Family
ID=29891484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9664181U Expired JPS5934142Y2 (ja) | 1981-07-01 | 1981-07-01 | ウエハチヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5934142Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-07-01 JP JP9664181U patent/JPS5934142Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5934142Y2 (ja) | 1984-09-21 |
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