JPS5872843U - 保持装置 - Google Patents

保持装置

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Publication number
JPS5872843U
JPS5872843U JP16658381U JP16658381U JPS5872843U JP S5872843 U JPS5872843 U JP S5872843U JP 16658381 U JP16658381 U JP 16658381U JP 16658381 U JP16658381 U JP 16658381U JP S5872843 U JPS5872843 U JP S5872843U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding device
suction
workpiece
annular
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16658381U
Other languages
English (en)
Inventor
持丸 晋吾
南山 隆幸
鈴木 成和
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
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Priority to JP16658381U priority Critical patent/JPS5872843U/ja
Publication of JPS5872843U publication Critical patent/JPS5872843U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の保持装置の断面図、第2図はこの考案の
一実施例を示す保持装置の断面図、第3図は第2図A部
の拡大断面図である。 2・・・保持本体、δ・・・環状シール材、11・・・
環状凹溝、12・・・環状突起体。 ’lz図 、  f’6’1fJ 13図

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)加工物を真空吸引力で吸着する保持本体とこの本
    体の吸着上面に刻設された環状溝に嵌入さ−れ上記吸着
    時に上記加工物の裏面外周面に密着する環状シール材と
    を備える保持装置において、上記環状溝には表面粗さと
    区別される少なくともブ条以上の環状突起体が形成され
    ていることを特徴とする保持装置。
  2. (2)環状突起体はその尖頭部が吸着されている加工物
    の吸着面に対向して形成されていることを特徴とする実
    用新案登録請求の範囲第1項記載の保持装置。
JP16658381U 1981-11-10 1981-11-10 保持装置 Pending JPS5872843U (ja)

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JP16658381U JPS5872843U (ja) 1981-11-10 1981-11-10 保持装置

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JP16658381U JPS5872843U (ja) 1981-11-10 1981-11-10 保持装置

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JPS5872843U true JPS5872843U (ja) 1983-05-17

Family

ID=29958735

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JP16658381U Pending JPS5872843U (ja) 1981-11-10 1981-11-10 保持装置

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