JPS5869939U - 保持装置 - Google Patents

保持装置

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Publication number
JPS5869939U
JPS5869939U JP16484581U JP16484581U JPS5869939U JP S5869939 U JPS5869939 U JP S5869939U JP 16484581 U JP16484581 U JP 16484581U JP 16484581 U JP16484581 U JP 16484581U JP S5869939 U JPS5869939 U JP S5869939U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sealing material
annular sealing
holding
holding device
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16484581U
Other languages
English (en)
Inventor
南山　隆幸
鈴木　成和
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
Priority to JP16484581U priority Critical patent/JPS5869939U/ja
Publication of JPS5869939U publication Critical patent/JPS5869939U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の保持装置の断面図、第２図はこの考案の
一実施例を示す保持装置の断面図である。 １２・・・・・・環状シール材、１４・・・・・・押え
板。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）加工物を真空吸引力で吸着する保持本体とこの本
    体の吸着上面に刻設された環状溝に嵌入され上記吸着時
    に上記加工物の裏面外周面に密着する環状シール材とを
    備える保持装置において、上記環状シール材はその外周
    側を押える押え板の押圧力を受けて上記保持本体に固着
    されていることを特徴とする保持装置。
  2. （２）実用新案登録請求の範囲第１項記載の保持装置に
    おいて、押え板は環状シール材の押え時に押圧されてい
    る上記環状シール材の上面より高くかつ保持本体に吸着
    されている加工物の上面より低い位置になることを特徴
    とする保持装置。
JP16484581U 1981-11-06 1981-11-06 保持装置 Pending JPS5869939U (ja)

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JP16484581U JPS5869939U (ja) 1981-11-06 1981-11-06 保持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16484581U JPS5869939U (ja) 1981-11-06 1981-11-06 保持装置

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Publication Number Publication Date
JPS5869939U true JPS5869939U (ja) 1983-05-12

Family

ID=29957068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16484581U Pending JPS5869939U (ja) 1981-11-06 1981-11-06 保持装置

Country Status (1)

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JP (1) JPS5869939U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017220483A (ja) * 2016-06-03 2017-12-14 日本特殊陶業株式会社 真空チャック及び真空チャックの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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