JPH03128944U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03128944U JPH03128944U JP3710990U JP3710990U JPH03128944U JP H03128944 U JPH03128944 U JP H03128944U JP 3710990 U JP3710990 U JP 3710990U JP 3710990 U JP3710990 U JP 3710990U JP H03128944 U JPH03128944 U JP H03128944U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tip
- functions
- chuck
- arm
- buried
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
Description
第1図は本考案の第1実施例に係るチヤツクの
平面図、第2図は第1図のA−A線断面図、第3
図は本考案の第2実施例に係るチヤツクの平面図
、第4図は第3図のB−B線断面図、第5図は本
考案の第3実施例に係るチヤツクの平面図、第6
図は第5図のC−C線断面図である。 尚、図面中1,21はチヤツク、2,22はア
ーム部、3,23はチヤツク部、4,5,24は
電極、9,27,31は吸引溝である。
平面図、第2図は第1図のA−A線断面図、第3
図は本考案の第2実施例に係るチヤツクの平面図
、第4図は第3図のB−B線断面図、第5図は本
考案の第3実施例に係るチヤツクの平面図、第6
図は第5図のC−C線断面図である。 尚、図面中1,21はチヤツク、2,22はア
ーム部、3,23はチヤツク部、4,5,24は
電極、9,27,31は吸引溝である。
Claims (1)
- セラミツク製アームの先端に静電チヤツクとし
ての機能を発揮する電極を埋設するとともに、前
記アームの先端表面に真空チヤツクとしての機能
を発揮する吸引溝を形成したことを特徴とする搬
送用チヤツク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3710990U JPH03128944U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3710990U JPH03128944U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03128944U true JPH03128944U (ja) | 1991-12-25 |
Family
ID=31543925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3710990U Pending JPH03128944U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03128944U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005050855A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Lintec Corp | 吸着搬送装置 |
JP2011077288A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
-
1990
- 1990-04-06 JP JP3710990U patent/JPH03128944U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005050855A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Lintec Corp | 吸着搬送装置 |
JP2011077288A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |