JPS60130647U - 保持装置 - Google Patents

保持装置

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Publication number
JPS60130647U
JPS60130647U JP1684884U JP1684884U JPS60130647U JP S60130647 U JPS60130647 U JP S60130647U JP 1684884 U JP1684884 U JP 1684884U JP 1684884 U JP1684884 U JP 1684884U JP S60130647 U JPS60130647 U JP S60130647U
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JP
Japan
Prior art keywords
suction surface
sealing groove
suction
main body
held
Prior art date
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Pending
Application number
JP1684884U
Other languages
English (en)
Inventor
鈴木　成和
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
Priority to JP1684884U priority Critical patent/JPS60130647U/ja
Publication of JPS60130647U publication Critical patent/JPS60130647U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の保持装置の断面図、第２図及び第３図は
それぞれ本考案の一実施例の保持装置の平面図及び要部
を欠切して示す正面図、第４図乃至第６図は本考案の変
形例を説明す名ための図である。 １：本体、１ａ：上面（吸着面）、２：ウエーハ（被保
持物）、１０：吸引孔、１５：密封溝、１７：給水孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被保持物が保持される吸着面が形成された本体と、上記
    吸着面に保持された上記被保持物の外周部に対向して刻
    設された環状の密封溝と、上記本体に穿設され一端部が
    上記密封溝に開口する給水孔と、一端部を上記吸着面に
    開口させて上記本体に穿設された吸引孔と、上記吸引孔
    の他端部が接続され上記吸着面に上記被保持物を真空吸
    着する真空源と、上記給水孔の他端部が接続され上記密
    封溝内に給水して上記真空吸着された被保持物と上記吸
    着面との間を密封する給水源とを具備することを特徴と
    する保持装置。
JP1684884U 1984-02-10 1984-02-10 保持装置 Pending JPS60130647U (ja)

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JP1684884U JPS60130647U (ja) 1984-02-10 1984-02-10 保持装置

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JP1684884U JPS60130647U (ja) 1984-02-10 1984-02-10 保持装置

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Publication Number Publication Date
JPS60130647U true JPS60130647U (ja) 1985-09-02

Family

ID=30504001

Family Applications (1)

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JP1684884U Pending JPS60130647U (ja) 1984-02-10 1984-02-10 保持装置

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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