JPS60187144U - 基板真空吸着構造 - Google Patents
基板真空吸着構造Info
- Publication number
- JPS60187144U JPS60187144U JP5809885U JP5809885U JPS60187144U JP S60187144 U JPS60187144 U JP S60187144U JP 5809885 U JP5809885 U JP 5809885U JP 5809885 U JP5809885 U JP 5809885U JP S60187144 U JPS60187144 U JP S60187144U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum suction
- suction structure
- substrate
- utility
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の実施例による要部を示す拡大−断面図
、第2図は同実施例のゴム製リング状め芯 1材
とフッ素樹脂製チューブの組立を示す図、第3図及び第
4図は組立後の弾性保持体を示す平面図 −及び断面図
、第5図及び第6図は本考案の他の実、 ′雄側による
ターンテーブル上の弾性保持体を示す“ 、゛平面図(
基板は図示せず。)及び要部を示す拡大 。 断面図、第7図及び第8図は従来の基板真空吸着 ”
−□ ′構造を示す平面図(基環は図示せず。)及び
断面 ・□図、第9図はゴム製0リング付近の拡大断面
図、 ′″′ ・第10図は真空吸着時の基板とゴム製
0リングの 、−密着状態を示す拡大断面図、並びに第
11図はフ ・′ツ素樹脂製0リ−ングを使用した場
合の拡大断面図 二′である。 3・・・・・・基板、9・・・・・・ゴム製リング状の
芯材、1 、−〇・・・・・・フッ素樹脂製チ子−
プ、11,13・・・弾性 。
、第2図は同実施例のゴム製リング状め芯 1材
とフッ素樹脂製チューブの組立を示す図、第3図及び第
4図は組立後の弾性保持体を示す平面図 −及び断面図
、第5図及び第6図は本考案の他の実、 ′雄側による
ターンテーブル上の弾性保持体を示す“ 、゛平面図(
基板は図示せず。)及び要部を示す拡大 。 断面図、第7図及び第8図は従来の基板真空吸着 ”
−□ ′構造を示す平面図(基環は図示せず。)及び
断面 ・□図、第9図はゴム製0リング付近の拡大断面
図、 ′″′ ・第10図は真空吸着時の基板とゴム製
0リングの 、−密着状態を示す拡大断面図、並びに第
11図はフ ・′ツ素樹脂製0リ−ングを使用した場
合の拡大断面図 二′である。 3・・・・・・基板、9・・・・・・ゴム製リング状の
芯材、1 、−〇・・・・・・フッ素樹脂製チ子−
プ、11,13・・・弾性 。
Claims (1)
- (1)基板表面が、ゴム製すンメ状の芯材にかぶサ−た
フッ素樹脂製のチューブスリフィルムから成・
る弾性保持体に接触して真空吸着され仝ことを特徴とす
る基板真空吸着構造。 。 ・ (2)フッ素樹脂製のチューブ又はフィルムの肉厚
、が0.1〜0.2mmであることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第(1)項記載の基板真空吸着構=(
3)弾性保持体のフッ素樹脂製チューブが熱成形可能な
材質であり、そのチューブめ両端面を熱接着しているこ
とを特徴とする実用新案登録語34、;ご:ニ32.<
、)7:7ニニを、熱成形可能な材質のフッ素樹脂製シ
ート材を介して熱接着していることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第(1)項又は第(2)項記載の基板
真空吸着構造。 −、。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5809885U JPS60187144U (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 基板真空吸着構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5809885U JPS60187144U (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 基板真空吸着構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60187144U true JPS60187144U (ja) | 1985-12-11 |
Family
ID=30583274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5809885U Pending JPS60187144U (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 基板真空吸着構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60187144U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013078810A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Smc Corp | 真空吸着装置 |
JP2020100466A (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-02 | 株式会社小森コーポレーション | フレキシブル基材搬送装置 |
-
1985
- 1985-04-18 JP JP5809885U patent/JPS60187144U/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013078810A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Smc Corp | 真空吸着装置 |
US8960749B2 (en) | 2011-10-03 | 2015-02-24 | Smc Kabushiki Kaisha | Vacuum suction apparatus |
JP2020100466A (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-02 | 株式会社小森コーポレーション | フレキシブル基材搬送装置 |
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