JPS60187144U - 基板真空吸着構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例による要部を示す拡大−断面図
、第２図は同実施例のゴム製リング状め芯　　　　１材
とフッ素樹脂製チューブの組立を示す図、第３図及び第
４図は組立後の弾性保持体を示す平面図　−及び断面図
、第５図及び第６図は本考案の他の実、　′雄側による
ターンテーブル上の弾性保持体を示す“　、゛平面図（
基板は図示せず。）及び要部を示す拡大　。 断面図、第７図及び第８図は従来の基板真空吸着　”　
−□　　′構造を示す平面図（基環は図示せず。）及び
断面　・□図、第９図はゴム製０リング付近の拡大断面
図、　′″′　・第１０図は真空吸着時の基板とゴム製
０リングの　、−密着状態を示す拡大断面図、並びに第
１１図はフ　　・′ツ素樹脂製０リ−ングを使用した場
合の拡大断面図　　　二′である。 ３・・・・・・基板、９・・・・・・ゴム製リング状の
芯材、１　　　、−〇・・・・・・フッ素樹脂製チ子−
プ、１１，１３・・・弾性　　　　。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）基板表面が、ゴム製すンメ状の芯材にかぶサ−た
   フッ素樹脂製のチューブスリフィルムから成・　　　　
   る弾性保持体に接触して真空吸着され仝ことを特徴とす
   る基板真空吸着構造。　　　　　　　。 ・　（２）フッ素樹脂製のチューブ又はフィルムの肉厚
   、が０．１〜０．２ｍｍであることを特徴とする実用新
   案登録請求の範囲第（１）項記載の基板真空吸着構＝（
   ３）弾性保持体のフッ素樹脂製チューブが熱成形可能な
   材質であり、そのチューブめ両端面を熱接着しているこ
   とを特徴とする実用新案登録語３４、；ご：ニ３２．＜
   、）７：７ニニを、熱成形可能な材質のフッ素樹脂製シ
   ート材を介して熱接着していることを特徴とする実用新
   案登録請求の範囲第（１）項又は第（２）項記載の基板
   真空吸着構造。　−、。