JPS599084U - 化学的気相成長装置 - Google Patents
化学的気相成長装置Info
- Publication number
- JPS599084U JPS599084U JP10053782U JP10053782U JPS599084U JP S599084 U JPS599084 U JP S599084U JP 10053782 U JP10053782 U JP 10053782U JP 10053782 U JP10053782 U JP 10053782U JP S599084 U JPS599084 U JP S599084U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- vapor deposition
- chemical vapor
- deposition equipment
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の化学的気相成長装置の半導体ウェハ支持
部分の平面図、第2図は同縦断面図、第3図はこの考案
の第1の実施例による化学的気相成長装置の半導体ウェ
ハ支持部分の平面図、第4図は同縦断面図、第5図はこ
の考案の第2の実施例による化学的気相成長装置の半導
体ウェハ支持部分の縦断面図である。 1.11・・・・・・サセプタ、2.12・・・・・・
中心軸、3.13・・・・・・ガス噴出口、4.14・
・聞手導体ウェハ、15・・・・・・保持台。
部分の平面図、第2図は同縦断面図、第3図はこの考案
の第1の実施例による化学的気相成長装置の半導体ウェ
ハ支持部分の平面図、第4図は同縦断面図、第5図はこ
の考案の第2の実施例による化学的気相成長装置の半導
体ウェハ支持部分の縦断面図である。 1.11・・・・・・サセプタ、2.12・・・・・・
中心軸、3.13・・・・・・ガス噴出口、4.14・
・聞手導体ウェハ、15・・・・・・保持台。
Claims (1)
- 外周側が低くなる傾斜を有しかつ中心軸を中心として回
転するサセプタと、このサセプタの外周面に内周面が接
するように固定した保持台とを備え、前記サセプタ上に
半導体ウェハを載せ、サセプタを中心軸を中心として回
転させ、前記ウェハを保持台に接触させて自転するよう
にしたことを特徴とする化学的気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10053782U JPS599084U (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 化学的気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10053782U JPS599084U (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 化学的気相成長装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS599084U true JPS599084U (ja) | 1984-01-20 |
Family
ID=30237788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10053782U Pending JPS599084U (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 化学的気相成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS599084U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6194283U (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-18 |
-
1982
- 1982-07-05 JP JP10053782U patent/JPS599084U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6194283U (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-18 | ||
JPH0139895Y2 (ja) * | 1984-11-26 | 1989-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS599084U (ja) | 化学的気相成長装置 | |
JPS5839039U (ja) | 半導体素子の蒸着治具 | |
JPS60174374U (ja) | 表示装置 | |
JPS6016535U (ja) | 気相成長装置 | |
JPS59159941U (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
JPS60103142U (ja) | ベルヌイ型半導体基板搬送装置 | |
JPS59187139U (ja) | 半導体ウエハホルダ装置 | |
JPS6054327U (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS5996829U (ja) | 半導体ウエ−ハの発熱担体 | |
JPS58142935U (ja) | 気相成長装置のノズル | |
JPS60100748U (ja) | フオトレジスト塗布装置 | |
JPS6127235U (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
JPS6018541U (ja) | 気相成長装置 | |
JPS6096821U (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS6094842U (ja) | 半導体基板用研削装置 | |
JPS5812941U (ja) | 気相成長装置用サセプタ | |
JPS59117136U (ja) | エピタキシヤル成長装置用サセプタ− | |
JPS59169042U (ja) | 液処理装置 | |
JPS5846444U (ja) | 半導体装置 | |
JPS5950442U (ja) | ウエハホルダ | |
JPS59109776U (ja) | 気相成長装置 | |
JPS59187133U (ja) | 蒸着装置 | |
JPS59170954U (ja) | 塗布装置 | |
JPS59111042U (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS62172153U (ja) |