JPS58168563U - 連続真空処理装置 - Google Patents
連続真空処理装置Info
- Publication number
- JPS58168563U JPS58168563U JP6496182U JP6496182U JPS58168563U JP S58168563 U JPS58168563 U JP S58168563U JP 6496182 U JP6496182 U JP 6496182U JP 6496182 U JP6496182 U JP 6496182U JP S58168563 U JPS58168563 U JP S58168563U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum processing
- processing equipment
- chamber
- continuous vacuum
- processing chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１゛図乃至第３図は従来例の説明線図、第４図は本考
案装置の１例の面断側面図、第５図はその要部の拡大断
面図、第６図はその下面図、第７図は第５図の■−■線
截線面断面図る。 １・・・仕込室、２・・・処理装置、３・・・真空処理
室、４・・・取出室、５・・・基板、６・・・トレイ、
７・・・押送装置。
案装置の１例の面断側面図、第５図はその要部の拡大断
面図、第６図はその下面図、第７図は第５図の■−■線
截線面断面図る。 １・・・仕込室、２・・・処理装置、３・・・真空処理
室、４・・・取出室、５・・・基板、６・・・トレイ、
７・・・押送装置。
Claims (1)
- 仕切室１から蒸発源その他の処理装置２を備えた真空処
理室３を介して取出室４へと基板５をそのまま若しくは
トレイ６により順次移送する式のものに於て、該真空処
理室３の前方に、順次移送されて来る基板５若しくはト
レイ６を互にすきまなく連続させて該処理室３内に送り
込む押送装置７を設けて成る連続真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6496182U JPS58168563U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 連続真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6496182U JPS58168563U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 連続真空処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58168563U true JPS58168563U (ja) | 1983-11-10 |
Family
ID=30074968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6496182U Pending JPS58168563U (ja) | 1982-05-06 | 1982-05-06 | 連続真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58168563U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135085A (en) * | 1975-05-14 | 1976-11-22 | Bigesu Spa | Closed loop transportation device |
| JPS5445091A (en) * | 1977-09-16 | 1979-04-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pallet intermittent transportation device |
-
1982
- 1982-05-06 JP JP6496182U patent/JPS58168563U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135085A (en) * | 1975-05-14 | 1976-11-22 | Bigesu Spa | Closed loop transportation device |
| JPS5445091A (en) * | 1977-09-16 | 1979-04-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pallet intermittent transportation device |
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