JPS6245825U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6245825U JPS6245825U JP13651685U JP13651685U JPS6245825U JP S6245825 U JPS6245825 U JP S6245825U JP 13651685 U JP13651685 U JP 13651685U JP 13651685 U JP13651685 U JP 13651685U JP S6245825 U JPS6245825 U JP S6245825U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- evacuated
- pretreatment
- introduction
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 2
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 2
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る薄膜形成
装置を示す横断面図である。第２図は、第１図の
線―に沿う縦断面図である。第３図は、第１
図の装置の動作の一例を示すタイムチヤートであ
る。第４図は、従来の薄膜形成装置の一例を示す
概略図である。第５図は、第４図の装置の動作を
示すタイムチヤートである。 ３……基板、８……導入室、１２……前処理室
、１３，１７……デイスク、１４……イオン源、
１６……成膜室、１８……蒸発源、２０……取出
し室、２７〜３２……搬送ベルト。
装置を示す横断面図である。第２図は、第１図の
線―に沿う縦断面図である。第３図は、第１
図の装置の動作の一例を示すタイムチヤートであ
る。第４図は、従来の薄膜形成装置の一例を示す
概略図である。第５図は、第４図の装置の動作を
示すタイムチヤートである。 ３……基板、８……導入室、１２……前処理室
、１３，１７……デイスク、１４……イオン源、
１６……成膜室、１８……蒸発源、２０……取出
し室、２７〜３２……搬送ベルト。
Claims (1)
- 複数枚の基板を収納することができ真空に排気
される導入室と、導入室に隣接していて導入室か
らの基板の表面を清浄化する清浄化手段を備え真
空に排気される前処理室と、前処理室に隣接して
いて前処理室からの基板の表面に薄膜形成を行う
成膜手段を備えた真空に排気される成膜室と、成
膜室に隣接していて成膜室からの基板を複数枚収
納することができ真空に排気される取出し室と、
基板を導入室から前処理室および成膜室を経が取
出し室へと搬送する搬送手段とを備えることを特
徴とする薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13651685U JPS6245825U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13651685U JPS6245825U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6245825U true JPS6245825U (ja) | 1987-03-19 |
Family
ID=31039702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13651685U Pending JPS6245825U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6245825U (ja) |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP13651685U patent/JPS6245825U/ja active Pending
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