JPS62122861U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62122861U JPS62122861U JP991486U JP991486U JPS62122861U JP S62122861 U JPS62122861 U JP S62122861U JP 991486 U JP991486 U JP 991486U JP 991486 U JP991486 U JP 991486U JP S62122861 U JPS62122861 U JP S62122861U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- film forming
- disk
- wafers
- thin film
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン蒸
着薄膜形成装置を示す縦断面図である。第２図は
、第１図の線―に沿う横断面図である。第３
図は、第１図の線―に沿う横断面図である。
第４図は、従来のイオン蒸着薄膜形成装置の一例
を示す縦断面図である。第５図は、第４図の線
―に沿う横断面図である。 ４……デイスク、６……ウエハ、８……デイス
ク回転・並進機構、１０……イオン源、１４……
蒸発源、１８……ウエハロード・アンロード機構
、４０……真空容器、４２……ウエハ着脱室、４
４……膜形成室、４６……遮蔽板、４８……隙間
。
着薄膜形成装置を示す縦断面図である。第２図は
、第１図の線―に沿う横断面図である。第３
図は、第１図の線―に沿う横断面図である。
第４図は、従来のイオン蒸着薄膜形成装置の一例
を示す縦断面図である。第５図は、第４図の線
―に沿う横断面図である。 ４……デイスク、６……ウエハ、８……デイス
ク回転・並進機構、１０……イオン源、１４……
蒸発源、１８……ウエハロード・アンロード機構
、４０……真空容器、４２……ウエハ着脱室、４
４……膜形成室、４６……遮蔽板、４８……隙間
。
Claims (1)
- イオン源と蒸発源とを有していて、真空容器内
で回転および並進させられるデイスクに装着され
た複数枚のウエハのそれぞれにイオン照射と蒸着
とを行うイオン蒸着薄膜形成装置において、前記
真空容器内を少なくとも、デイスクにウエハを着
脱するためのウエハ着脱室と、デイスクに装着さ
れたウエハにイオン照射および蒸着を行うための
膜形成室とに分け、両室間を、ウエハを装着した
デイスクが並進できる隙間を設けて遮蔽板で分離
したことを特徴とするイオン蒸着薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP991486U JPS62122861U (ja) | 1986-01-27 | 1986-01-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP991486U JPS62122861U (ja) | 1986-01-27 | 1986-01-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62122861U true JPS62122861U (ja) | 1987-08-04 |
Family
ID=30795680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP991486U Pending JPS62122861U (ja) | 1986-01-27 | 1986-01-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62122861U (ja) |
-
1986
- 1986-01-27 JP JP991486U patent/JPS62122861U/ja active Pending