JPS61120756U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61120756U JPS61120756U JP346785U JP346785U JPS61120756U JP S61120756 U JPS61120756 U JP S61120756U JP 346785 U JP346785 U JP 346785U JP 346785 U JP346785 U JP 346785U JP S61120756 U JPS61120756 U JP S61120756U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- evaporation
- thin film
- forming apparatus
- film forming
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン蒸
着薄膜形成装置の概略を示す縦断面図である。第
２図は、第１図の線―に沿う概略断面図であ
る。第３図は、温度制御回路の概略を示すブロツ
ク図である。第４図は、従来のイオン蒸着薄膜形
成装置を示す概略図である。 ２……ウエハ、４……イオン源、６……蒸発源
、１２……デイスク、１６……デイスク回転・並
進機構、２８……ウエハロード・アンロード機構
、６０……ヒータ。
着薄膜形成装置の概略を示す縦断面図である。第
２図は、第１図の線―に沿う概略断面図であ
る。第３図は、温度制御回路の概略を示すブロツ
ク図である。第４図は、従来のイオン蒸着薄膜形
成装置を示す概略図である。 ２……ウエハ、４……イオン源、６……蒸発源
、１２……デイスク、１６……デイスク回転・並
進機構、２８……ウエハロード・アンロード機構
、６０……ヒータ。
Claims (1)
- イオン源と蒸発源とを有していて、真空中でウ
エハに対してイオン照射と蒸着とを行うイオン蒸
着薄膜形成装置において、複数枚のウエハを装着
して回転及び並進するデイスクを設け、更に当該
デイスクに、そこに装着されたウエハを加熱する
ためのヒータを設けたことを特徴とするイオン蒸
着薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP346785U JPS61120756U (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP346785U JPS61120756U (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120756U true JPS61120756U (ja) | 1986-07-30 |
Family
ID=30478122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP346785U Pending JPS61120756U (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120756U (ja) |
-
1985
- 1985-01-14 JP JP346785U patent/JPS61120756U/ja active Pending
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