JPH01141758U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01141758U JPH01141758U JP3356088U JP3356088U JPH01141758U JP H01141758 U JPH01141758 U JP H01141758U JP 3356088 U JP3356088 U JP 3356088U JP 3356088 U JP3356088 U JP 3356088U JP H01141758 U JPH01141758 U JP H01141758U
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- JP
- Japan
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- substrate
- thermometer
- heater
- contact thermometer
- dummy substrate
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 4
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例として適用されたイ
オンプレーテイング装置の平面図、第２図はダミ
ー基板を示す側断面図、第３図は従来のイオンプ
レーテイング装置の側面図、第４図はその平面図
である。 １……ベルジヤー（真空容器）、４……蒸着材
料（膜材料）、１９……温度調節器（制御手段）
、３６……比較調整器（制御手段）、Ｈ……基板
を加熱するヒータ、Ｈ１……ダミー基板を加熱す
るヒータ、Ｍ……基板の表面温度を測定する輻射
式温度計、Ｍ１……ダミー基板の表面温度を測定
する輻射式温度計、Ｗ……表面（基板）、Ｗ１…
…ダミー基板。
オンプレーテイング装置の平面図、第２図はダミ
ー基板を示す側断面図、第３図は従来のイオンプ
レーテイング装置の側面図、第４図はその平面図
である。 １……ベルジヤー（真空容器）、４……蒸着材
料（膜材料）、１９……温度調節器（制御手段）
、３６……比較調整器（制御手段）、Ｈ……基板
を加熱するヒータ、Ｈ１……ダミー基板を加熱す
るヒータ、Ｍ……基板の表面温度を測定する輻射
式温度計、Ｍ１……ダミー基板の表面温度を測定
する輻射式温度計、Ｗ……表面（基板）、Ｗ１…
…ダミー基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空容器内に配設される基板を加熱するヒータ
Ｈと、基板の表面温度を測定する輻射式温度計等
の非接触式温度計Ｍとを備え、前記ヒータＨによ
り基板を加熱しながら、膜材料を基板表面に付着
させて皮膜を形成する加熱式成膜装置において、 前記真空容器内に、基板と同じ材質および表面
状態のダミー基板とこのダミー基板を加熱するヒ
ータＨ１を配設するとともに、ダミー基板の表面
温度を測定する輻射式温度計等の非接触式温度計
Ｍ１と熱電温度計等の接触式温度計Ｍ２を装備し
、さらに、基板側の非接触式温度計Ｍの測定値を
、ダミー基板側の非接触式温度計Ｍ１の測定値と
同値にするよう前記ヒータＨの加熱温度を制御す
る制御手段を設けたことを特徴とする加熱式成膜
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3356088U JPH0527484Y2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3356088U JPH0527484Y2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141758U true JPH01141758U (ja) | 1989-09-28 |
| JPH0527484Y2 JPH0527484Y2 (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=31260246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3356088U Expired - Lifetime JPH0527484Y2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0527484Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007291475A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 近赤外線カットフィルター及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP3356088U patent/JPH0527484Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007291475A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 近赤外線カットフィルター及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0527484Y2 (ja) | 1993-07-13 |