JPH01153633U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01153633U JPH01153633U JP4509388U JP4509388U JPH01153633U JP H01153633 U JPH01153633 U JP H01153633U JP 4509388 U JP4509388 U JP 4509388U JP 4509388 U JP4509388 U JP 4509388U JP H01153633 U JPH01153633 U JP H01153633U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- vapor phase
- phase growth
- film vapor
- growth apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例を示し、第２図は、
第１図装置において使用されるカーボンヒーター
の一例を示す。第３図は、従来の縦型薄膜気相成
長装置の一例を示す。 １……ステンレス鋼製チヤンバー、５……バレ
ル型サセプタ、６……回転シヤフト、７……駆動
機構、８……カーボンヒーター、１０……半導体
結晶ウエハ。
第１図装置において使用されるカーボンヒーター
の一例を示す。第３図は、従来の縦型薄膜気相成
長装置の一例を示す。 １……ステンレス鋼製チヤンバー、５……バレ
ル型サセプタ、６……回転シヤフト、７……駆動
機構、８……カーボンヒーター、１０……半導体
結晶ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) バレル型サセプタを備える縦型薄膜気相成
長装置において、前記サセプタの内側に上部、中
央部、下部の通電面積を変えたカーボンヒータを
配置することを特徴とする薄膜気相成長装置。 (2) 請求項(1)において縦型薄膜気相成長装置の
成長室を形成するチヤンバーがステンレス鋼製で
あることを特徴とする薄膜気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4509388U JPH0627945Y2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 薄膜気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4509388U JPH0627945Y2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 薄膜気相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153633U true JPH01153633U (ja) | 1989-10-23 |
| JPH0627945Y2 JPH0627945Y2 (ja) | 1994-07-27 |
Family
ID=31271420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4509388U Expired - Lifetime JPH0627945Y2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 薄膜気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627945Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP4509388U patent/JPH0627945Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0627945Y2 (ja) | 1994-07-27 |
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