JPH01153635U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01153635U JPH01153635U JP4660388U JP4660388U JPH01153635U JP H01153635 U JPH01153635 U JP H01153635U JP 4660388 U JP4660388 U JP 4660388U JP 4660388 U JP4660388 U JP 4660388U JP H01153635 U JPH01153635 U JP H01153635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- thermocouple
- thin film
- barrel
- vapor phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を断面図で示し、第２
図は第１図に示す熱電対支持装置の分解拡大図を
示す。第３図はカーボンヒーターの一例を断面図
で示す。第４図は薄膜気相成長装置における従来
の熱電対支持方法を示す。 １……チヤンバー、２……バレル型サセプタ、
３……ヒーター、４……ウエハ、５……熱電対、
６……回転シヤフト、７……カーボンヒーター、
８……スリツト、９……スリツトの段部、１０，
１１……固定ブロツク、１２……スリツトの底部
、１３……熱電対支持孔。
図は第１図に示す熱電対支持装置の分解拡大図を
示す。第３図はカーボンヒーターの一例を断面図
で示す。第４図は薄膜気相成長装置における従来
の熱電対支持方法を示す。 １……チヤンバー、２……バレル型サセプタ、
３……ヒーター、４……ウエハ、５……熱電対、
６……回転シヤフト、７……カーボンヒーター、
８……スリツト、９……スリツトの段部、１０，
１１……固定ブロツク、１２……スリツトの底部
、１３……熱電対支持孔。
Claims (1)
- 薄膜気相成長装置の成長室のバレル型サセプタ
の内側に配置される円筒状のカーボンヒーターの
一つのスリツトに段部を設けて上下に幅広部と幅
狭部を形成し、前記幅広部と幅狭部に、それぞれ
両端に対して中央部に狭小部を有し、前記それぞ
れの一端に支持孔を具える固定ブロツクを嵌め込
み、前記カーボンヒーターと前記バレル型サセプ
タの内側の間で前記カーボンヒーターのスリツト
より突出する前記固定ブロツクの支持孔に下方よ
り熱電対を挿入して支持することを特徴とする薄
膜気相成長装置における熱電対支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4660388U JPH0627947Y2 (ja) | 1988-04-05 | 1988-04-05 | 薄膜気相成長装置における熱電対支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4660388U JPH0627947Y2 (ja) | 1988-04-05 | 1988-04-05 | 薄膜気相成長装置における熱電対支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153635U true JPH01153635U (ja) | 1989-10-23 |
| JPH0627947Y2 JPH0627947Y2 (ja) | 1994-07-27 |
Family
ID=31272870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4660388U Expired - Lifetime JPH0627947Y2 (ja) | 1988-04-05 | 1988-04-05 | 薄膜気相成長装置における熱電対支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627947Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-05 JP JP4660388U patent/JPH0627947Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0627947Y2 (ja) | 1994-07-27 |