JPH01141760U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01141760U JPH01141760U JP3334988U JP3334988U JPH01141760U JP H01141760 U JPH01141760 U JP H01141760U JP 3334988 U JP3334988 U JP 3334988U JP 3334988 U JP3334988 U JP 3334988U JP H01141760 U JPH01141760 U JP H01141760U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wall portion
- spherical convex
- convex wall
- curvature
- storage part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 2
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- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例であるイオンクラ
スタビーム蒸着装置用ルツボを用いたイオンクラ
スタビーム蒸着装置を示す基本構成図、第２図は
この考案の一実施例であるイオンクラスタビーム
蒸着装置用ルツボを示す断面図、第３図は従来の
イオンクラスタビーム蒸着装置用ルツボを用いた
イオンクラスタビーム蒸着装置を示す基本構成図
、第４図は従来のイオンクラスタビーム蒸着装置
用ルツボを示す断面図である。 図において、９：蒸着物質、１０：ルツボ、１
０ａ：収納部、１０ｂ：球状凸壁部、１０ｃ：小
孔部、である。なお、図中、同一符号及び同一記
号は、同一または相当部分を示す。
スタビーム蒸着装置用ルツボを用いたイオンクラ
スタビーム蒸着装置を示す基本構成図、第２図は
この考案の一実施例であるイオンクラスタビーム
蒸着装置用ルツボを示す断面図、第３図は従来の
イオンクラスタビーム蒸着装置用ルツボを用いた
イオンクラスタビーム蒸着装置を示す基本構成図
、第４図は従来のイオンクラスタビーム蒸着装置
用ルツボを示す断面図である。 図において、９：蒸着物質、１０：ルツボ、１
０ａ：収納部、１０ｂ：球状凸壁部、１０ｃ：小
孔部、である。なお、図中、同一符号及び同一記
号は、同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 蒸着物質が充填可能な収納部と、 前記収納部の上壁を形成する一定の曲率半径Ｒ
を有する球状凸壁部と、 前記球状凸壁部に蒸気化した蒸着物質が噴出可
能に前記球状凸壁部の曲率半径Ｒの中心方向に向
つて穿設した複数の小孔部と、 を具備することを特徴とするイオンクラスタビ
ーム蒸着装置用ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3334988U JPH01141760U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3334988U JPH01141760U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141760U true JPH01141760U (ja) | 1989-09-28 |
Family
ID=31260011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3334988U Pending JPH01141760U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01141760U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09209131A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-12 | Ricoh Co Ltd | 薄膜形成装置 |
| JPH09228046A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-02 | Ricoh Co Ltd | 巻き取り式成膜装置 |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP3334988U patent/JPH01141760U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09209131A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-12 | Ricoh Co Ltd | 薄膜形成装置 |
| JPH09228046A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-02 | Ricoh Co Ltd | 巻き取り式成膜装置 |