JPS61180168U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61180168U JPS61180168U JP6567185U JP6567185U JPS61180168U JP S61180168 U JPS61180168 U JP S61180168U JP 6567185 U JP6567185 U JP 6567185U JP 6567185 U JP6567185 U JP 6567185U JP S61180168 U JPS61180168 U JP S61180168U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- rotation center
- reaction gas
- nozzle
- vapor phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
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- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本案装置の模式的断面図、第２図はノ
ズルの拡大断面図、第３図は反応ガスの通流状態
を示す説明図、第４図は本案装置の試験結果を示
すグラフ、第５図は従来装置の模式的断面図、第
６図は第５図の装置における反応ガスの通流態様
を示す説明図、第７図は従来装置における気相成
長速度を示すグラフ、第８図は従来装置の他の構
成を示す模式的断面図である。 １…基台、２…ベルジヤ、３…軸、４…サセプ
タ、５…コイル、６…ウエーハ、７…ノズル、７
ａ…上端屈曲部。
ズルの拡大断面図、第３図は反応ガスの通流状態
を示す説明図、第４図は本案装置の試験結果を示
すグラフ、第５図は従来装置の模式的断面図、第
６図は第５図の装置における反応ガスの通流態様
を示す説明図、第７図は従来装置における気相成
長速度を示すグラフ、第８図は従来装置の他の構
成を示す模式的断面図である。 １…基台、２…ベルジヤ、３…軸、４…サセプ
タ、５…コイル、６…ウエーハ、７…ノズル、７
ａ…上端屈曲部。
Claims (1)
- ドーム状上面を有する反応容器内に、前記上面
の頂部真下を回転中心とし、表面に被成長物を載
置するサセプタを設け、その回転中心に反応容器
の上部に向けて反応ガスを噴出するノズルを配し
た気相成長装置において、反応ガスをサセプタ上
の被成長物上に沿つて一方向に通流させるべく前
記ノズルからの反応ガス噴射方向をサセプタの回
転中心線に対し傾斜させたことを特徴とする気相
成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6567185U JPS61180168U (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6567185U JPS61180168U (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61180168U true JPS61180168U (ja) | 1986-11-10 |
Family
ID=30597874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6567185U Pending JPS61180168U (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61180168U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013512170A (ja) * | 2009-11-25 | 2013-04-11 | ダイナテック エンジニアリング エーエス | シリコンの生産のための反応器および方法 |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP6567185U patent/JPS61180168U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013512170A (ja) * | 2009-11-25 | 2013-04-11 | ダイナテック エンジニアリング エーエス | シリコンの生産のための反応器および方法 |