JPS61156229U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61156229U JPS61156229U JP3815985U JP3815985U JPS61156229U JP S61156229 U JPS61156229 U JP S61156229U JP 3815985 U JP3815985 U JP 3815985U JP 3815985 U JP3815985 U JP 3815985U JP S61156229 U JPS61156229 U JP S61156229U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- drive section
- vapor phase
- cylinder type
- phase growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 3
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims 3
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
図は本考案の一実施例を示す概要断面図である
。 ６……反応室、９……ハンガー、１１……回転
駆動室、１５……サセプタアセンブリ、１６……
トツププレート、１７……ボトムプレート、１８
……サセプタ、２０……ウエハ、２２，２３……
穴、２５……バツフル、２９，３０……パージガ
ス供給用のパイプ。
。 ６……反応室、９……ハンガー、１１……回転
駆動室、１５……サセプタアセンブリ、１６……
トツププレート、１７……ボトムプレート、１８
……サセプタ、２０……ウエハ、２２，２３……
穴、２５……バツフル、２９，３０……パージガ
ス供給用のパイプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 反応室と、同反応室の上方に設けられた回転
駆動部と、上端が前記回転駆動部内にあつて回転
を付与されると共に下端が前記反応室内に位置す
るハンガーと、同ハンガーの下端側に取付けられ
て反応室内に位置するシリンダ型のサセプタアセ
ンブリと、前記反応室から回転駆動部へのガスの
流入を阻止するために回転駆動部内へパージガス
を供給する手段とを含むシリンダ型気相成長装置
において、前記サセプタアセンブリのトツププレ
ートとボトムプレートに穴を明けると共に、反応
室の上内壁と前記トツププレートとの間のハンガ
ー外周を被いかつトツププレートの穴の外方に下
端を気密的あるいは半気密的に位置させたバツフ
ルを設けたことを特徴とするシリンダ型気相成長
装置。 ２ バツフルの上端が反応室の上内壁に沿つて外
方へ広がり、該上内壁とバツフルとの間にパージ
ガスを供給するようになつていることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項記載のシリンダ
型気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3815985U JPH0719136Y2 (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | シリンダ型気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3815985U JPH0719136Y2 (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | シリンダ型気相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61156229U true JPS61156229U (ja) | 1986-09-27 |
| JPH0719136Y2 JPH0719136Y2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=30544905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3815985U Expired - Lifetime JPH0719136Y2 (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | シリンダ型気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719136Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS633136U (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-11 | ||
| JPH06112127A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリンダー型エピタキシャル層成長装置 |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP3815985U patent/JPH0719136Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS633136U (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-11 | ||
| JPH06112127A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリンダー型エピタキシャル層成長装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0719136Y2 (ja) | 1995-05-01 |