JPS6274330U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6274330U JPS6274330U JP16568385U JP16568385U JPS6274330U JP S6274330 U JPS6274330 U JP S6274330U JP 16568385 U JP16568385 U JP 16568385U JP 16568385 U JP16568385 U JP 16568385U JP S6274330 U JPS6274330 U JP S6274330U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafers
- heating means
- view
- epitaxial growth
- growth furnace
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第1図は本考案一実施例の一部省略した側面図
、第2図は第1図―線に沿う断面図、第3図
は加熱手段の一実施態様を示す斜視図、第4図は
第2図部の拡大図、第5図はウエハの配置例の
説明図、第6図乃至第8図は加熱手段の他の実施
態様を示す説明図、第9図乃至第11図は従来の
エピタキシヤル成長炉装置の構成説明図である。 12はサセプター、13はウエハ。
、第2図は第1図―線に沿う断面図、第3図
は加熱手段の一実施態様を示す斜視図、第4図は
第2図部の拡大図、第5図はウエハの配置例の
説明図、第6図乃至第8図は加熱手段の他の実施
態様を示す説明図、第9図乃至第11図は従来の
エピタキシヤル成長炉装置の構成説明図である。 12はサセプター、13はウエハ。
Claims (1)
- ウエハ13を支持するサセプター12を縦にし
て放射状に配置すると共にウエハ13を加熱手段
で加熱するようにしたことを特徴とするエピタキ
シヤル成長炉装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16568385U JPS6274330U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16568385U JPS6274330U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6274330U true JPS6274330U (ja) | 1987-05-13 |
Family
ID=31095939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16568385U Pending JPS6274330U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6274330U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01122994A (ja) * | 1987-11-05 | 1989-05-16 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | 化学気相成長法 |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP16568385U patent/JPS6274330U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01122994A (ja) * | 1987-11-05 | 1989-05-16 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | 化学気相成長法 |