JPS61195044U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61195044U JPS61195044U JP7902385U JP7902385U JPS61195044U JP S61195044 U JPS61195044 U JP S61195044U JP 7902385 U JP7902385 U JP 7902385U JP 7902385 U JP7902385 U JP 7902385U JP S61195044 U JPS61195044 U JP S61195044U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- core tube
- furnace core
- view
- heated
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の半導体製造装置を
示す側断面図、第２図は第１図の装置のヒータに
おけるヒータ線斜視図、第３図は第２図のヒータ
線の拡大正面図、第４図は本考案の他の実施例を
説明するためのヒータ線正面図である。第５図は
従来の半導体製造装置（半導体ウエーハ熱処理装
置）の側断面図、第６図は第５図の装置のヒータ
におけるヒータ線斜視図、第７図は第５図のＡ―
Ａ線に沿う部分拡大正面図、第８図は第５図の装
置による不純物拡散処理後の半導体ウエーハ正面
図である。 １……炉芯管、９……半導体ウエーハ、１５…
…ヒータ。
示す側断面図、第２図は第１図の装置のヒータに
おけるヒータ線斜視図、第３図は第２図のヒータ
線の拡大正面図、第４図は本考案の他の実施例を
説明するためのヒータ線正面図である。第５図は
従来の半導体製造装置（半導体ウエーハ熱処理装
置）の側断面図、第６図は第５図の装置のヒータ
におけるヒータ線斜視図、第７図は第５図のＡ―
Ａ線に沿う部分拡大正面図、第８図は第５図の装
置による不純物拡散処理後の半導体ウエーハ正面
図である。 １……炉芯管、９……半導体ウエーハ、１５…
…ヒータ。
Claims (1)
- 外周にヒータを配置した炉芯管内で半導体ウエ
ーハを熱処理する装置において、前記ヒータを前
記炉芯管内の上部より下部を高温に加熱するよう
に上下複数に分割したことを特徴とする半導体製
造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7902385U JPS61195044U (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7902385U JPS61195044U (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61195044U true JPS61195044U (ja) | 1986-12-04 |
Family
ID=30623545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7902385U Pending JPS61195044U (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61195044U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010520637A (ja) * | 2007-03-05 | 2010-06-10 | サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ | 電気炉用インサートおよびヒーター要素 |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP7902385U patent/JPS61195044U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010520637A (ja) * | 2007-03-05 | 2010-06-10 | サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ | 電気炉用インサートおよびヒーター要素 |