JPH0192128U - - Google Patents
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- JPH0192128U JPH0192128U JP18693887U JP18693887U JPH0192128U JP H0192128 U JPH0192128 U JP H0192128U JP 18693887 U JP18693887 U JP 18693887U JP 18693887 U JP18693887 U JP 18693887U JP H0192128 U JPH0192128 U JP H0192128U
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- core tube
- furnace core
- furnace
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を説明するための概
略断面図、第２図は第１図の例で温度を２段階に
設定した際の温度分布の一例を示す図である。 １……炉芯管、２，３……電気ヒータ、４……
断熱材、５……半導体基板支持台。
略断面図、第２図は第１図の例で温度を２段階に
設定した際の温度分布の一例を示す図である。 １……炉芯管、２，３……電気ヒータ、４……
断熱材、５……半導体基板支持台。
Claims (1)
- 円筒型の炉芯管の周囲より電気ヒータで加熱し
、炉芯管末端部のガス導入ノズルより所定のガス
を炉芯管内へ導入し、半導体基板に不純物拡散や
酸化等の熱処理を施す拡散炉装置において、個々
に温度制御される複数の電気ヒータを炉芯管の長
手方向に沿つて有することを特徴とする拡散炉装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18693887U JPH0192128U (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18693887U JPH0192128U (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0192128U true JPH0192128U (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=31478133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18693887U Pending JPH0192128U (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0192128U (ja) |
-
1987
- 1987-12-08 JP JP18693887U patent/JPH0192128U/ja active Pending