JPS63114024U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63114024U JPS63114024U JP650287U JP650287U JPS63114024U JP S63114024 U JPS63114024 U JP S63114024U JP 650287 U JP650287 U JP 650287U JP 650287 U JP650287 U JP 650287U JP S63114024 U JPS63114024 U JP S63114024U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- core tube
- furnace core
- pull
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Description
第１図は本考案に係る熱処理装置の一実施例を
示す概略側断面図、第２図は本考案に使用されて
いる引出棒の伸長状態での断面図、第３図は第２
図のＡ―Ａ線に沿う断面図、第４図は上記引出棒
の短縮状態での断面図である。第５図は従来の熱
処理装置の一具体例を示す概略側断面図である。 １……炉芯管、５……ボート、６……半導体ウ
エーハ、９……引出棒、１０……第１の棒、１０
ａ……フツク、１０ｂ……遮蔽板、１０ｃ……突
部、１１……第２の棒、１１ａ……大径部、１１
ｂ……突部。
示す概略側断面図、第２図は本考案に使用されて
いる引出棒の伸長状態での断面図、第３図は第２
図のＡ―Ａ線に沿う断面図、第４図は上記引出棒
の短縮状態での断面図である。第５図は従来の熱
処理装置の一具体例を示す概略側断面図である。 １……炉芯管、５……ボート、６……半導体ウ
エーハ、９……引出棒、１０……第１の棒、１０
ａ……フツク、１０ｂ……遮蔽板、１０ｃ……突
部、１１……第２の棒、１１ａ……大径部、１１
ｂ……突部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ヒータにて加熱される炉芯管と、複数の半導体
ウエーハを所定の間隔で整列保持するボートと、
ボートを炉芯管の内部に搬入、かつ炉芯管から搬
出する引出棒を具備し、上記炉芯管の一方開口端
より処理ガスを導入して上記半導体ウエーハを熱
処理する装置において、 上記引出棒を第１の棒と第２の棒に分割し、当
該第１、第２の棒を伸縮可能なように連結したこ
とを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP650287U JPS63114024U (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP650287U JPS63114024U (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63114024U true JPS63114024U (ja) | 1988-07-22 |
Family
ID=30789076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP650287U Pending JPS63114024U (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63114024U (ja) |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP650287U patent/JPS63114024U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63114024U (ja) | ||
| JPS6379634U (ja) | ||
| JPH044738U (ja) | ||
| JPS61195044U (ja) | ||
| JPS6382932U (ja) | ||
| JPS63149523U (ja) | ||
| JPS6439629U (ja) | ||
| JPS63153522U (ja) | ||
| JPS6338058U (ja) | ||
| GB1153372A (en) | Improvements in or relating to Methods of Heat Treating Semiconductor Bodies. | |
| JPH0192128U (ja) | ||
| JPS6193750U (ja) | ||
| JPH02140839U (ja) | ||
| JPS533061A (en) | Semiconductor heat treatment method and members used for the same | |
| JPH0252331U (ja) | ||
| JPS58128982U (ja) | 半導体結晶成長装置 | |
| JPS6346439U (ja) | ||
| JPH03122531U (ja) | ||
| JPS5844834U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS6390829U (ja) | ||
| JPS6214723U (ja) | ||
| JPH0211323U (ja) | ||
| JPS6273538U (ja) | ||
| JPS60149130U (ja) | 半導体熱処理炉 | |
| JPH03124632U (ja) |