JPS6439629U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6439629U JPS6439629U JP13330187U JP13330187U JPS6439629U JP S6439629 U JPS6439629 U JP S6439629U JP 13330187 U JP13330187 U JP 13330187U JP 13330187 U JP13330187 U JP 13330187U JP S6439629 U JPS6439629 U JP S6439629U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- semiconductor manufacturing
- furnace
- core tube
- temperature peak
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000009395 breeding Methods 0.000 claims 1
- 230000001488 breeding effect Effects 0.000 claims 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る半導体製造用
加熱炉の構成を示す縦断面図、第２図は第１図の
―線矢視断面図、第３図は他の実施例を示す
部分構成図、第４図は一般的な半導体製造装置に
おける温度分布を示す説明図、第５図は従来例を
示す断面図である。 図中、１は炉殻、５は炉心管、６は加熱ヒータ
、７は温度ピーク形成用ヒータである。
加熱炉の構成を示す縦断面図、第２図は第１図の
―線矢視断面図、第３図は他の実施例を示す
部分構成図、第４図は一般的な半導体製造装置に
おける温度分布を示す説明図、第５図は従来例を
示す断面図である。 図中、１は炉殻、５は炉心管、６は加熱ヒータ
、７は温度ピーク形成用ヒータである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 炉殻内に水平に設けられた炉心管内あるい
は支持台上に育成用ボートを載置してこれを炉心
管あるいは支持台の外周部に設けられている加熱
ヒータにより加熱する半導体製造用加熱炉におい
て、上記炉心管あるいは上記支持台の長手方向中
間部付近に温度ピーク部を形成するための温度ピ
ーク形成用ヒータを上記炉心管あるいは支持台の
外周部に設けたことを特徴とする半導体製造用加
熱炉。 (2) 上記温度ピーク形成用ヒータが、鉛直上方
に放熱用の間隙を有するＳｉＣ製のリング状ヒー
タからなることを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載の半導体製造用加熱炉。 (3) 上記温度ピーク形成用ヒータがその円周方
向各部分において互いに異なる抵抗値を有するこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項記
載の半導体製造用加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13330187U JPS6439629U (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13330187U JPS6439629U (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6439629U true JPS6439629U (ja) | 1989-03-09 |
Family
ID=31391036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13330187U Pending JPS6439629U (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6439629U (ja) |
-
1987
- 1987-09-02 JP JP13330187U patent/JPS6439629U/ja active Pending