JPS6390829U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6390829U JPS6390829U JP18742086U JP18742086U JPS6390829U JP S6390829 U JPS6390829 U JP S6390829U JP 18742086 U JP18742086 U JP 18742086U JP 18742086 U JP18742086 U JP 18742086U JP S6390829 U JPS6390829 U JP S6390829U
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- JP
- Japan
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- heat
- heat treatment
- core tube
- furnace core
- treating
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は本考案に係る熱処理装置の一実施例を
示す正断面図、第２図は上記装置内での半導体ウ
エーハのシート抵抗値の分布特性図である。第３
図は従来の熱処理装置を示す正断面図、第４図は
上記装置内での半導体ウエーハのシート抵抗値の
分布特性図である。 １…炉芯管、１ａ…供給口、２…熱処理ガス、
６…半導体ウエーハ、１１…供給管、１１ａ…吐
出口、１２…熱処理装置。
示す正断面図、第２図は上記装置内での半導体ウ
エーハのシート抵抗値の分布特性図である。第３
図は従来の熱処理装置を示す正断面図、第４図は
上記装置内での半導体ウエーハのシート抵抗値の
分布特性図である。 １…炉芯管、１ａ…供給口、２…熱処理ガス、
６…半導体ウエーハ、１１…供給管、１１ａ…吐
出口、１２…熱処理装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数の半導体ウエーハが内部に整列収容される
炉芯管の一端の供給口から吹き込まれる熱処理ガ
スを他端から排出させながら上記ウエーハを熱処
理する装置に於て、 上記炉芯管内部に熱処理ガスの吐出口が他端側
に配置された供給管を上記供給口から延設したこ
とを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18742086U JPS6390829U (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18742086U JPS6390829U (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6390829U true JPS6390829U (ja) | 1988-06-13 |
Family
ID=31137881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18742086U Pending JPS6390829U (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6390829U (ja) |
-
1986
- 1986-12-04 JP JP18742086U patent/JPS6390829U/ja active Pending