JPH0377437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0377437U JPH0377437U JP13744289U JP13744289U JPH0377437U JP H0377437 U JPH0377437 U JP H0377437U JP 13744289 U JP13744289 U JP 13744289U JP 13744289 U JP13744289 U JP 13744289U JP H0377437 U JPH0377437 U JP H0377437U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inlet
- core tube
- furnace core
- outlet
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の一実施例の半導体製造装
置の縦断面図である。第２図は、従来一般の半導
体熱処理装置の縦断面図である。 １……炉芯管、２……ガス導入口、３……ボー
ト出入口を密閉するキヤツプ、８……ガスの循環
経路。
置の縦断面図である。第２図は、従来一般の半導
体熱処理装置の縦断面図である。 １……炉芯管、２……ガス導入口、３……ボー
ト出入口を密閉するキヤツプ、８……ガスの循環
経路。
Claims (1)
- ガスの導入口及びキヤツプで密閉されたボート
出入口を有する炉芯管と、この炉芯管のウエーハ
出入口近傍からガス導入口近傍に処理ガスを循環
させる処理用ガスの循環用経路を具備した半導体
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13744289U JPH0377437U (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13744289U JPH0377437U (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0377437U true JPH0377437U (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=31684598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13744289U Pending JPH0377437U (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0377437U (ja) |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP13744289U patent/JPH0377437U/ja active Pending