JPH02125329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02125329U JPH02125329U JP3528989U JP3528989U JPH02125329U JP H02125329 U JPH02125329 U JP H02125329U JP 3528989 U JP3528989 U JP 3528989U JP 3528989 U JP3528989 U JP 3528989U JP H02125329 U JPH02125329 U JP H02125329U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- semiconductor wafers
- entrance
- heat treatment
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図はこの考案に係る半導体装置製造用治具
の一実施例の縦断面図、第２図は第１図のボート
９の分解斜視図である。第３図は従来の半導体装
置製造用治具の縦断面である。 １……炉芯管、１ａ……供給口、１ｂ……出入
口、２……熱処理ガス、３……ヒーター、６……
半導体ウエーハ、７……操作棒、８……遮蔽板、
９……ボート、９ｂ……熱処理ガス供給口、９ｃ
……出入口、９ｄ……ふた。
の一実施例の縦断面図、第２図は第１図のボート
９の分解斜視図である。第３図は従来の半導体装
置製造用治具の縦断面である。 １……炉芯管、１ａ……供給口、１ｂ……出入
口、２……熱処理ガス、３……ヒーター、６……
半導体ウエーハ、７……操作棒、８……遮蔽板、
９……ボート、９ｂ……熱処理ガス供給口、９ｃ
……出入口、９ｄ……ふた。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ヒーターで加熱される炉芯管内での半導体ウエ
ーハの熱処理の際、半導体ウエーハを所定間隔で
整列保持して、炉芯管内への搬入、炉芯管内での
熱処理、炉芯管内からの搬出を行なうのに使用す
る半導体装置製造用治具において、 半導体ウエーハ全部を囲むように管状構造を有
し、一端に熱処理ガス供給口を設けるとともに、
中途部に半導体ウエーハの出入口を設け、この出
入口に着脱可能なふたを装着したことを特徴とす
る半導体装置製造用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3528989U JPH02125329U (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3528989U JPH02125329U (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02125329U true JPH02125329U (ja) | 1990-10-16 |
Family
ID=31540510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3528989U Pending JPH02125329U (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02125329U (ja) |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP3528989U patent/JPH02125329U/ja active Pending
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