JPS6280328U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6280328U JPS6280328U JP17165385U JP17165385U JPS6280328U JP S6280328 U JPS6280328 U JP S6280328U JP 17165385 U JP17165385 U JP 17165385U JP 17165385 U JP17165385 U JP 17165385U JP S6280328 U JPS6280328 U JP S6280328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- heat treatment
- opening
- treatment furnace
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Description
第１図ａは本考案の熱処理炉反応管の縦断面図
、ｂは同側面図、第２図は従来の熱処理炉装置の
断面図である。 １ａ，１ｂ……熱処理炉反応管の管体、２ａ，
２ｂ……ガス導入口、３……開口部、４……ボー
ト、５……半導体ウエハ、６……排気部、７……
ヒーター、８……ボート出入装置、９，１２……
気体導入口、１０，１１……パイプ、１０ａ，１
１ａ……ノズル。
、ｂは同側面図、第２図は従来の熱処理炉装置の
断面図である。 １ａ，１ｂ……熱処理炉反応管の管体、２ａ，
２ｂ……ガス導入口、３……開口部、４……ボー
ト、５……半導体ウエハ、６……排気部、７……
ヒーター、８……ボート出入装置、９，１２……
気体導入口、１０，１１……パイプ、１０ａ，１
１ａ……ノズル。
Claims (1)
- 一方の管端に熱処理用ガスの導入口をもつ管体
の他方の管端に半導体ウエハの出し入れ用開口部
を設けた熱処理炉反応管において、前記管体の開
口部の同芯円上及び管体の内部に延設して窒素ガ
ス又は不活性ガスを吹き出すノズルを設けたこと
を特徴とする熱処理炉反応管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17165385U JPS6280328U (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17165385U JPS6280328U (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6280328U true JPS6280328U (ja) | 1987-05-22 |
Family
ID=31107477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17165385U Pending JPS6280328U (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6280328U (ja) |
-
1985
- 1985-11-07 JP JP17165385U patent/JPS6280328U/ja active Pending