JPH0434733U - - Google Patents
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- JPH0434733U JPH0434733U JP7544790U JP7544790U JPH0434733U JP H0434733 U JPH0434733 U JP H0434733U JP 7544790 U JP7544790 U JP 7544790U JP 7544790 U JP7544790 U JP 7544790U JP H0434733 U JPH0434733 U JP H0434733U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- reaction tube
- semiconductor
- treatment apparatus
- wafer
- Prior art date
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 3
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- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
Description
第1図は本考案に係る半導体熱処理装置の一実
施例を示す縦断面図、第2図は本考案装置の他の
実施例を示す一部切欠縦断面図、第3図は従来使
用されている半導体熱処理装置の縦断面図である
。 1……反応管、2……不活性・不燃性・無毒ガ
ス流通管、3および4……ガス供給口、5および
6……ガス排出口、7……石英台、8……半導体
ウエハ、9……加熱炉。
施例を示す縦断面図、第2図は本考案装置の他の
実施例を示す一部切欠縦断面図、第3図は従来使
用されている半導体熱処理装置の縦断面図である
。 1……反応管、2……不活性・不燃性・無毒ガ
ス流通管、3および4……ガス供給口、5および
6……ガス排出口、7……石英台、8……半導体
ウエハ、9……加熱炉。
Claims (1)
- 反応管の外側に加熱炉を有し、かつ熱処理雰囲
気ガスが流れる反応管内に半導体ウエハをセツト
してこのウエハの熱処理をおこなう半導体熱処理
装置において、前記反応管の外周に不活性ガス流
通管を同心円状に設けたことを特徴とする半導体
熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7544790U JPH0434733U (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7544790U JPH0434733U (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0434733U true JPH0434733U (ja) | 1992-03-23 |
Family
ID=31616033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7544790U Pending JPH0434733U (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0434733U (ja) |
-
1990
- 1990-07-16 JP JP7544790U patent/JPH0434733U/ja active Pending