JPH01108928U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01108928U JPH01108928U JP270788U JP270788U JPH01108928U JP H01108928 U JPH01108928 U JP H01108928U JP 270788 U JP270788 U JP 270788U JP 270788 U JP270788 U JP 270788U JP H01108928 U JPH01108928 U JP H01108928U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas conduit
- semiconductor wafer
- heat treatment
- chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Description
第１図は本考案の一実施例を示す概略的縦断端
面図、第２図は同じく本考案の一実施例を示す概
略的横断面図、第３図はチヤンバ内における熱処
理用ガスの流れを示す図、第４図は従来の熱処理
装置の一例を示す概略的縦断端面図である。 １０…加熱源、１１…半導体ウエハ、１２…チ
ヤンバ、１３…ガス導管、１４…輪状ガス導管、
１５…ガス導入口、１６…ガス排出口、Ｇ…熱処
理用ガス。
面図、第２図は同じく本考案の一実施例を示す概
略的横断面図、第３図はチヤンバ内における熱処
理用ガスの流れを示す図、第４図は従来の熱処理
装置の一例を示す概略的縦断端面図である。 １０…加熱源、１１…半導体ウエハ、１２…チ
ヤンバ、１３…ガス導管、１４…輪状ガス導管、
１５…ガス導入口、１６…ガス排出口、Ｇ…熱処
理用ガス。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 加熱源と、 この加熱源によつて加熱される半導体ウエハを
その室内に水平に配置するチヤンバと、 このチヤンバに所定の熱処理用ガスを供給する
ガス導管と、 このガス導管の先端部に、前記半導体ウエハに
対してその外側上方に輪状に設けられた輪状ガス
導管と、 この輪状ガス導管の内周壁に所定間隔をもつて
設けられたガス導入口と、 前記半導体ウエハの下方に設けられたガス排出
口とを 備えて成る熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP270788U JPH01108928U (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP270788U JPH01108928U (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01108928U true JPH01108928U (ja) | 1989-07-24 |
Family
ID=31203710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP270788U Pending JPH01108928U (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01108928U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018168816A1 (ja) | 2017-03-14 | 2018-09-20 | 株式会社ジーシー | 齲蝕細菌検出用ｄｎａチップ |
-
1988
- 1988-01-13 JP JP270788U patent/JPH01108928U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018168816A1 (ja) | 2017-03-14 | 2018-09-20 | 株式会社ジーシー | 齲蝕細菌検出用ｄｎａチップ |