JPH02106822U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02106822U JPH02106822U JP1554689U JP1554689U JPH02106822U JP H02106822 U JPH02106822 U JP H02106822U JP 1554689 U JP1554689 U JP 1554689U JP 1554689 U JP1554689 U JP 1554689U JP H02106822 U JPH02106822 U JP H02106822U
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- JP
- Japan
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- tube
- supply pipe
- gas
- diffusion furnace
- semiconductor substrate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る拡散炉の正面
図、第２図はその平面図、第３図はその気体の流
れを説明する概念図、第４図はその供給管先端部
を説明する構成図、第５図は従来の拡散炉の構成
図、第６図は従来の拡散炉の正面図、第７図はそ
の平面図である。 １１はチユーブ、１２はヒータ、１３，１３ａ
，１３ｂは供給管、１４は排気管、１５は半導体
基板である。
図、第２図はその平面図、第３図はその気体の流
れを説明する概念図、第４図はその供給管先端部
を説明する構成図、第５図は従来の拡散炉の構成
図、第６図は従来の拡散炉の正面図、第７図はそ
の平面図である。 １１はチユーブ、１２はヒータ、１３，１３ａ
，１３ｂは供給管、１４は排気管、１５は半導体
基板である。
Claims (1)
- 半導体基板を収容する円筒状のチユーブと、該
チユーブを取り巻く加熱手段と、該チユーブの一
端から当該チユーブ内に気体を導入する供給管と
、該チユーブの他端から当該チユーブ内の気体を
排出する排気管とを備えた拡散炉において、前記
供給管を前記チユーブの軸線に対してずれた位置
から斜めに気体を導入するように該チユーブに接
続したことを特徴とする拡散炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1554689U JPH02106822U (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1554689U JPH02106822U (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02106822U true JPH02106822U (ja) | 1990-08-24 |
Family
ID=31227688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1554689U Pending JPH02106822U (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02106822U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59213127A (ja) * | 1983-05-19 | 1984-12-03 | Pioneer Electronic Corp | 炉心管 |
| JPS61290713A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Hitachi Ltd | 処理装置 |
-
1989
- 1989-02-13 JP JP1554689U patent/JPH02106822U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59213127A (ja) * | 1983-05-19 | 1984-12-03 | Pioneer Electronic Corp | 炉心管 |
| JPS61290713A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Hitachi Ltd | 処理装置 |