JPS6422031U - - Google Patents
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- JPS6422031U JPS6422031U JP11681987U JP11681987U JPS6422031U JP S6422031 U JPS6422031 U JP S6422031U JP 11681987 U JP11681987 U JP 11681987U JP 11681987 U JP11681987 U JP 11681987U JP S6422031 U JPS6422031 U JP S6422031U
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- JP
- Japan
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- heat treatment
- core tube
- furnace core
- semiconductor heat
- semiconductor
- Prior art date
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Description
第１図はこの考案の半導体熱処理装置の一実施
例を示す側断面図、第２図は従来の半導体熱処理
装置を示す側断面図である。 １１……ヒーターブロツク、１２……炉芯管、
１３，１４……ガス供給管、１４ａ……端部ノズ
ル、１５……被覆管、１６……冷却用給水管、１
７……冷却用排水管、１８……半導体ウエハ、１
９……石英ボート。
例を示す側断面図、第２図は従来の半導体熱処理
装置を示す側断面図である。 １１……ヒーターブロツク、１２……炉芯管、
１３，１４……ガス供給管、１４ａ……端部ノズ
ル、１５……被覆管、１６……冷却用給水管、１
７……冷却用排水管、１８……半導体ウエハ、１
９……石英ボート。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエハ挿入端側と反対側より水素ガスと
酸素ガスを導入して燃焼させることにより内部に
水蒸気を発生させるようにした炉芯管を有する半
導体熱処理装置において、 燃焼部分の炉芯管に冷却機構を設けたことを特
徴とする半導体熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11681987U JPS6422031U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11681987U JPS6422031U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6422031U true JPS6422031U (ja) | 1989-02-03 |
Family
ID=31359707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11681987U Pending JPS6422031U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6422031U (ja) |
-
1987
- 1987-07-31 JP JP11681987U patent/JPS6422031U/ja active Pending
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