JPS6273535U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6273535U JPS6273535U JP16499885U JP16499885U JPS6273535U JP S6273535 U JPS6273535 U JP S6273535U JP 16499885 U JP16499885 U JP 16499885U JP 16499885 U JP16499885 U JP 16499885U JP S6273535 U JPS6273535 U JP S6273535U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connector
- core tube
- heating section
- furnace core
- tail pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図ａは本考案の一実施例を示す概略図、第
１図ｂは本考案の石英スリーブを示す斜視図、第
２図は従来の熱処理装置を示す概略図、第３図は
従来装置の熱の流れを示す概略図である。 １……加熱部、２……炉芯管、３……ボート、
４……ウエハ、５……断熱壁、６……尾管、７…
…ガス供給管、８……コネクタ、９……石英スリ
ーブ。
１図ｂは本考案の石英スリーブを示す斜視図、第
２図は従来の熱処理装置を示す概略図、第３図は
従来装置の熱の流れを示す概略図である。 １……加熱部、２……炉芯管、３……ボート、
４……ウエハ、５……断熱壁、６……尾管、７…
…ガス供給管、８……コネクタ、９……石英スリ
ーブ。
Claims (1)
- 筒状の加熱部とこの加熱部を貫通する炉芯管を
有し、この炉芯管の一方の端部に形成されたガス
導入用尾管は断熱壁を貫通し、コネクタを介して
ガス供給管と接続する熱処理装置において、前記
断熱壁とコネクタの中間部に前記尾管と嵌合する
石英スリーブを設けたことを特徴とする熱処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16499885U JPS6273535U (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16499885U JPS6273535U (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6273535U true JPS6273535U (ja) | 1987-05-11 |
Family
ID=31094628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16499885U Pending JPS6273535U (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6273535U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289828U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-17 |
-
1985
- 1985-10-29 JP JP16499885U patent/JPS6273535U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289828U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-17 |