JPS6258038U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6258038U JPS6258038U JP14965985U JP14965985U JPS6258038U JP S6258038 U JPS6258038 U JP S6258038U JP 14965985 U JP14965985 U JP 14965985U JP 14965985 U JP14965985 U JP 14965985U JP S6258038 U JPS6258038 U JP S6258038U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating furnace
- auxiliary heater
- external
- type heating
- storage cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は、この考案の実施例と従来装置の収容
筒内における温度分布のグラフ、第２図はこの考
案の実施例の断面図である。 １……外熱型加熱炉、２……外熱炉本体、３…
…収容筒、４，１０……ガス管、１１，１２……
補助ヒータ。
筒内における温度分布のグラフ、第２図はこの考
案の実施例の断面図である。 １……外熱型加熱炉、２……外熱炉本体、３…
…収容筒、４，１０……ガス管、１１，１２……
補助ヒータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 筒状の外熱炉の内側に半導体ウエハーの収容
筒を設置してなる外熱型加熱炉において、前記外
熱炉の端部内側に、前記収容筒端部と対向させて
補助ヒータを設置したことを特徴とする外熱型加
熱炉。 ２ 補助ヒータには、収容筒と連通するガス管の
挿通孔が形成してある実用新案登録請求の範囲第
１項記載の外熱型加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14965985U JPS6258038U (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14965985U JPS6258038U (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6258038U true JPS6258038U (ja) | 1987-04-10 |
Family
ID=31065076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14965985U Pending JPS6258038U (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6258038U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63278227A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-15 | Teru Sagami Kk | 熱処理装置 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP14965985U patent/JPS6258038U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63278227A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-15 | Teru Sagami Kk | 熱処理装置 |