JPS6335972U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6335972U JPS6335972U JP12935586U JP12935586U JPS6335972U JP S6335972 U JPS6335972 U JP S6335972U JP 12935586 U JP12935586 U JP 12935586U JP 12935586 U JP12935586 U JP 12935586U JP S6335972 U JPS6335972 U JP S6335972U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- robot
- temperature
- robot hand
- inspection
- heater
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例におけるＩＣの高温検
査装置の概要構成図である。第２図は本考案の実
施例における真空チヤツク式のロボツトハンドの
部分断面図である。 １……ロボツトハンド、２……ロボツト、３…
…ＩＣ給材部、４……ＩＣ加熱炉、５……ＩＣ検
査装置、６……ＩＣ除材部、１１……ロボツトハ
ンド、１２……ヒータ、１３……温度検出器、１
４……外気遮断室、１５……把持部、１６……被
検査ＩＣ、１７……温度調節器。
査装置の概要構成図である。第２図は本考案の実
施例における真空チヤツク式のロボツトハンドの
部分断面図である。 １……ロボツトハンド、２……ロボツト、３…
…ＩＣ給材部、４……ＩＣ加熱炉、５……ＩＣ検
査装置、６……ＩＣ除材部、１１……ロボツトハ
ンド、１２……ヒータ、１３……温度検出器、１
４……外気遮断室、１５……把持部、１６……被
検査ＩＣ、１７……温度調節器。
Claims (1)
- ＩＣの高温検査においてＩＣ加熱炉からＩＣ検
査装置までの移送にロボツトを使用し、前記ロボ
ツトのロボツトハンドの把持部にヒータと温度検
出器とを設けると共に断熱材による外気遮断室を
付設し、移送時のＩＣの温度を制御させることを
特徴とするロボツトハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12935586U JPS6335972U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12935586U JPS6335972U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6335972U true JPS6335972U (ja) | 1988-03-08 |
Family
ID=31025860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12935586U Pending JPS6335972U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6335972U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0538694A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-02-19 | Advantest Corp | Ｉｃ吸着装置 |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP12935586U patent/JPS6335972U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0538694A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-02-19 | Advantest Corp | Ｉｃ吸着装置 |