JPS6335972U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6335972U JPS6335972U JP12935586U JP12935586U JPS6335972U JP S6335972 U JPS6335972 U JP S6335972U JP 12935586 U JP12935586 U JP 12935586U JP 12935586 U JP12935586 U JP 12935586U JP S6335972 U JPS6335972 U JP S6335972U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- robot
- temperature
- robot hand
- inspection
- heater
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例におけるICの高温検
査装置の概要構成図である。第2図は本考案の実
施例における真空チヤツク式のロボツトハンドの
部分断面図である。 1……ロボツトハンド、2……ロボツト、3…
…IC給材部、4……IC加熱炉、5……IC検
査装置、6……IC除材部、11……ロボツトハ
ンド、12……ヒータ、13……温度検出器、1
4……外気遮断室、15……把持部、16……被
検査IC、17……温度調節器。
査装置の概要構成図である。第2図は本考案の実
施例における真空チヤツク式のロボツトハンドの
部分断面図である。 1……ロボツトハンド、2……ロボツト、3…
…IC給材部、4……IC加熱炉、5……IC検
査装置、6……IC除材部、11……ロボツトハ
ンド、12……ヒータ、13……温度検出器、1
4……外気遮断室、15……把持部、16……被
検査IC、17……温度調節器。
Claims (1)
- ICの高温検査においてIC加熱炉からIC検
査装置までの移送にロボツトを使用し、前記ロボ
ツトのロボツトハンドの把持部にヒータと温度検
出器とを設けると共に断熱材による外気遮断室を
付設し、移送時のICの温度を制御させることを
特徴とするロボツトハンド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12935586U JPS6335972U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12935586U JPS6335972U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6335972U true JPS6335972U (ja) | 1988-03-08 |
Family
ID=31025860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12935586U Pending JPS6335972U (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6335972U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0538694A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-02-19 | Advantest Corp | Ic吸着装置 |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP12935586U patent/JPS6335972U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0538694A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-02-19 | Advantest Corp | Ic吸着装置 |