JPS6242237U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6242237U JPS6242237U JP13374585U JP13374585U JPS6242237U JP S6242237 U JPS6242237 U JP S6242237U JP 13374585 U JP13374585 U JP 13374585U JP 13374585 U JP13374585 U JP 13374585U JP S6242237 U JPS6242237 U JP S6242237U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- annealing
- annealing chamber
- gate valve
- evacuated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第1図は、この考案の一実施例によるランプア
ニール装置における前室付きアニール室の上面図
、第2図は、従来のランプアニール装置における
アニール室の上面図、第3図は、第2図の―
線に沿う断面図である。 10,16……石英管、10A……アニール室
、14……ゲートバルブ、16A……前室、20
……ふた、22……ウエハ保持棒。
ニール装置における前室付きアニール室の上面図
、第2図は、従来のランプアニール装置における
アニール室の上面図、第3図は、第2図の―
線に沿う断面図である。 10,16……石英管、10A……アニール室
、14……ゲートバルブ、16A……前室、20
……ふた、22……ウエハ保持棒。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) 真空引き可能なアニール室と、 (b) このアニール室を加熱するための赤外線ラ
ンプと、 (c) 前記アニール室につらなる真空引き可能な
前室と、 (d) 前記アニール室及び前記前室の間に設けら
れたゲートバルブとをそなえ、 前記前室及び前記ゲートバルブを介して前記ア
ニール室に被加熱物を出し入れするようにしたこ
とを特徴とするランプアニール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13374585U JPS6242237U (ja) | 1985-08-31 | 1985-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13374585U JPS6242237U (ja) | 1985-08-31 | 1985-08-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6242237U true JPS6242237U (ja) | 1987-03-13 |
Family
ID=31034338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13374585U Pending JPS6242237U (ja) | 1985-08-31 | 1985-08-31 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6242237U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01272122A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-31 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理方法 |
JP2015074818A (ja) * | 2013-10-11 | 2015-04-20 | Dowaサーモテック株式会社 | 浸炭焼入れ設備 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5628637A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-20 | Shunpei Yamazaki | Film making method |
JPS6027129A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 金属性膜配線のアニ−ル方法 |
-
1985
- 1985-08-31 JP JP13374585U patent/JPS6242237U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5628637A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-20 | Shunpei Yamazaki | Film making method |
JPS6027129A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 金属性膜配線のアニ−ル方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01272122A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-31 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理方法 |
JP2015074818A (ja) * | 2013-10-11 | 2015-04-20 | Dowaサーモテック株式会社 | 浸炭焼入れ設備 |