JPS6381861U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例におけるスパツタリン
グ装置に用いるターゲツトの原理的構成を示す模
式平面図であり、第２図は本考案の実施例におけ
るターゲツトの一部破断模式図である。第３図は
第２図の―断面図である。第４図はターゲツ
トをバツキングプレートに固定した状態を示す要
部断面図である。第５図はバツキングプレートへ
のターゲツトの固定を固定ねじによる場合を示す
要部断面図である。第６図は従来例におけるター
ゲツトの構造全体を示す断面図である。 １……分割体、２……バツキングプレート、３
……重合部、４……固定ネジ、Ｔ……ターゲツト
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ターゲツト材で構成されて板状体を形成す
   る複数個の分割体と、該分割体を該板状体として
   支持固定するバツキングプレートとからなるター
   ゲツトを含むことを特徴とするスパツタリング装
   置。 (2) 各分割体の組付け部には重合部が設けられ
   該重合部が重ね合わされてバツキングプレートの
   表面を覆う形状とし設けられ、該バツングプレー
   トへのイオンの照射が阻止される実用新案登録請
   求の範囲第１項記載のスパツタリング装置。 (3) スパツタリングはマグネトロンスパツタリ
   ングである実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   スパツタリング装置。