JPH0314148U - - Google Patents
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- JPH0314148U JPH0314148U JP7576489U JP7576489U JPH0314148U JP H0314148 U JPH0314148 U JP H0314148U JP 7576489 U JP7576489 U JP 7576489U JP 7576489 U JP7576489 U JP 7576489U JP H0314148 U JPH0314148 U JP H0314148U
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- JP
- Japan
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- substrate
- forming apparatus
- film forming
- cart
- line film
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 6
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第1図及び第2図は本考案の一実施例による搬
送用基板カートの縦断面図、第3図は第2図の一
部平面図、第4図は本考案の一実施例が適用され
るインライン式成膜装置の概略構成図、第5図は
従来装置の逆スパツタ室の概略構成図である。 3……クリーニング室、10……搬送ローラ、
11……基板、12……基板カート、14……ベ
ース、20……アースシールド板、21……基板
ホルダ、22……サブホルダ。
送用基板カートの縦断面図、第3図は第2図の一
部平面図、第4図は本考案の一実施例が適用され
るインライン式成膜装置の概略構成図、第5図は
従来装置の逆スパツタ室の概略構成図である。 3……クリーニング室、10……搬送ローラ、
11……基板、12……基板カート、14……ベ
ース、20……アースシールド板、21……基板
ホルダ、22……サブホルダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 インライン式成膜装置の各処理位置に基板を搬
送するための搬送用基板カートであつて、 基板が装着される基板ホルダ部と、前記基板ホ
ルダ部背面側に所定間隔を介して設けられ、異常
放電を防止するためのシールド板とを備えたイン
ライン式成膜装置の搬送用基板カート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7576489U JPH0726363Y2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | インライン式成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7576489U JPH0726363Y2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | インライン式成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0314148U true JPH0314148U (ja) | 1991-02-13 |
JPH0726363Y2 JPH0726363Y2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=31616628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7576489U Expired - Lifetime JPH0726363Y2 (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | インライン式成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0726363Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-06-28 JP JP7576489U patent/JPH0726363Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0726363Y2 (ja) | 1995-06-14 |
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